简要描述：库存EBARA荏原EV-PA50空冷干式无油真空泵EV-PA50 属于 EV-PA 系列，是日本 EBARA 荏原推出的**超小型轻量化无齿轮直驱干式无油真空泵**，整机仅 9kg，强制风冷无需冷却水，单相宽电压供电，标配气镇阀。体积小巧便携，免密封件更换维护，洁净无油，适合小流量轻负载真空工况，广泛用于小型分析仪器、半导体后端检测、实验室小型真空实验。

优势代理品牌

产品简介：EV-PA 系列是日本 EBARA 荏原推出的超小型轻量化空冷干式无油真空泵，采用无齿轮直驱非接触结构，无需冷却水，单相宽电压供电，自带标配气镇阀。整机体积小巧、重量轻，免年度维护，低噪节能，专为小型洁净真空工况开发，适配分析仪器、半导体后端检测、实验室、小型镀膜等轻负载真空场景。

产品特点

1. 超紧凑轻量化，整机重量低仅 9kg，自带便携提手，台式放置方便，设备集成占用空间极小。

2. 空冷免水冷 + 宽电压单相供电，无需冷却水管道，单相 AC100~230V 宽电压自适应，50/60Hz 通用，现场布线简单，即插即用。

3. 无齿轮无油干式结构，无齿轮油、泵腔无润滑油，杜绝油蒸汽污染真空腔体；非接触密封设计，无需定期更换密封件，长期免维护。

4. 标配气镇阀，全系自带气镇功能，可抽取水蒸气、可凝性气体，防止水汽在泵内凝结沉积。

5. 低振动低噪音，运行噪音≤58dB (A)，适合实验室、洁净办公室等对噪音敏感环境；能耗低，运行成本低。

6. 智能监控通讯，内置运行数据存储、故障报警记录，支持远程监控与信号联动；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 安全认证。

EV-PA 系列完整型号清单及参数

表格

后缀 GB 代表气镇版本，EV-PA250-GB、EV-PA500-GB，全系标配气镇阀。

核心技术参数

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                    适用范围

半导体后端工艺：塑封、键合、层压；SEM/FE-SEM、XPS、XRD、氦检等半导体检测设备；质谱仪、电子显微镜等分析仪器；锂电池小型真空注液、干燥脱泡；真空压合、冷冻干燥；科研实验室、同步加速器、高校研发真空实验。

标准配件

真空泵主机、便携提手；可选配件：进气粉尘过滤器、RS485 远程通讯模块、原厂维护备件包。

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