简要描述：现货EBARA 荏原EV-A10P-2S（1P）干式真空泵EV-A10P-2S（1P）属于 EV-A 系列，是日本 EBARA 荏原单相 200~240V 供电、搭载轴承冲洗结构的五级罗茨干式无油真空泵，强制风冷无需冷却水，本体抽速 1000L/min。P 版本有轴承吹扫冲洗结构，可处理含微量粉尘、轻度污染工艺气体，适合现场只有单相电源，工艺气体带有轻微颗粒的半导体、镀膜、锂电洁净真空场景

优势代理品牌

产品特点

1. 风冷免水冷结构，无需配套冷却水管道，即插即用，现场安装改造简单，节省配套工程成本。

2. 全干式无油设计，泵腔内部无润滑油，杜绝油蒸汽返流污染腔体，产出洁净真空，满足无尘车间精密工艺要求。

3. 大气段抽速性能优异，针对反复抽破真空工况优化，缩短工艺节拍；50Hz/60Hz 电网频率变化，设备性能保持稳定一致。

4. 非接触多级罗茨结构，转子无摩擦磨损，维护周期长；运行振动小、噪音低，适合实验室、洁净车间等对噪音敏感的环境。

5. 气镇阀可选配置，开启后可处理水蒸气、少量可凝性气体，防止水汽在泵内凝结；EV-A10P 带轴承冲洗版本，可应对轻度粉尘、轻微污染气体工况。

6. 安全与通讯，支持远程信号输出、故障报警，可与自动化设备联动；满足 SEMI-S2、CE、NRTL 行业安全认证。

EV-A 系列全型号清单

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核心技术参数

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适用范围

半导体 PVD 溅射设备 Load-Lock 锁仓抽真空；锂电池真空脱泡、浆料除气；质谱、ICP-MS 等分析仪器；等离子清洗；真空干燥、冷冻干燥；科研实验室通用洁净真空。

标准配件

真空泵主机、减震脚轮；可选配件：气镇阀、进气粉尘过滤器、RS485 通讯模块、轴承冲洗组件、原厂备件包。
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