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代理EBARA荏原EV-A10空冷干式无油真空泵

简要描述:代理EBARA荏原EV-A10空冷干式无油真空泵EV-A10 型是一款小型风冷式干式真空泵,无需冷却水。它非常适合在大气压附近进行重复抽气作业,并具有出色的排气速度。该系列真空泵仅需电源即可运行。它功耗低、运行安静,适用于生产车间、测试实验室和科研实验室等各种环境。

基础信息

产品型号

EV-A10-优势品牌

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-10

浏览次数

63
详细介绍
品牌EBARA/荏原输送介质其他
泵轴位置卧式叶轮数目其他
应用领域化工,半导体

优势代理品牌

产品简介:EV-A 系列是日本 EBARA 荏原推出的小型空气冷却式多级罗茨干式无油真空泵,采用非接触式转子结构,无需冷却水,仅接入电源即可投入使用,在大气压附近抽气性能突出,适合需要反复破真空、抽真空循环的洁净工艺场景,整机轻量化、低噪低维护,广泛应用于半导体锁仓、锂电生产、分析仪器等通用洁净真空领域。

产品特点

  1. 风冷免水冷结构,无需配套冷却水管道,即插即用,现场安装改造简单,节省配套工程成本。

  2. 全干式无油设计,泵腔内部无润滑油,杜绝油蒸汽返流污染腔体,产出洁净真空,满足无尘车间精密工艺要求。

  3. 大气段抽速性能优异,针对反复抽破真空工况优化,缩短工艺节拍;50Hz/60Hz 电网频率变化,设备性能保持稳定一致。

  4. 非接触多级罗茨结构,转子无摩擦磨损,维护周期长;运行振动小、噪音低,适合实验室、洁净车间等对噪音敏感的环境。

  5. 气镇阀可选配置,开启后可处理水蒸气、少量可凝性气体,防止水汽在泵内凝结;EV-A10P 带轴承冲洗版本,可应对轻度粉尘、轻微污染气体工况。

  6. 安全与通讯,支持远程信号输出、故障报警,可与自动化设备联动;满足 SEMI-S2、CE、NRTL 行业安全认证。

EV-A 系列全型号清单

表格

型号最大抽气速率 L/min极限压力 (气镇关闭) Pa整机重量 kg最大水蒸气处理量 g/h
EV-A032501.042250
EV-A066001.054350
EV-A1010001.075500
EV-A10P10001.078500(带轴承冲洗,轻度粉尘适用)

核心技术参数

表格

项目参数
产品类型空冷多级罗茨干式无油真空泵
冷却方式风冷
供电规格单相 / 三相 200~240V,50/60Hz
结构形式多级非接触罗茨
进气接口NW40
排气接口NW25(EV-A03/A06);NW40(EV-A10/A10P)

适用范围

半导体 PVD 溅射设备 Load-Lock 锁仓抽真空;锂电池真空脱泡、浆料除气;质谱、ICP-MS 等分析仪器;等离子清洗;真空干燥、冷冻干燥;科研实验室通用洁净真空。

标准配件

真空泵主机、减震脚轮;可选配件:气镇阀、进气粉尘过滤器、RS485 通讯模块、轴承冲洗组件、原厂备件包。
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