简要描述：超纯水微量H₂O₂监测仪装置NMS 野村微科学这是一种新型的超纯水（ H₂O₂ ）监测器。通过使用我们专有的N-Lite® DEP（酶支持树脂），我们实现了世界上无化学试剂的H₂O₂监测器。

产品概述

NOXiEMON® 是日本野村微科学（NMS）面向半导体 Fab 超纯水系统开发的无试剂型微量在线监测设备，专门捕捉超纯水回路里 ppb 级别的微量双氧水。半导体产线 TOC‑UV 紫外杀菌工艺会产生微量副产物 H₂O₂，这类微量氧化物一旦流入后端湿清洗工位，会改变清洗药液配方稳定性，造成晶圆表面氧化异常、良率波动。区别于传统需要化学试剂的比色法设备，NOXiEMON® 依靠固定化酶技术完成检测，全程无需添加任何化学药剂，大幅降低洁净厂房运维成本与废液排放压力.。

测量原理

核心耗材为N‑Lite® DEP 酵素担持树脂，水样流经树脂单元时，在酶催化作用下分解生成氧气；后端搭配高精度溶解氧传感器检测氧气增量，换算得出水中 H₂O₂实时浓度。设备内置逻辑比对单元，自动扣除水体本底溶解氧干扰，即便在 TOC‑UV 出水这种复杂水质工况下，依然可以精准识别微量双氧水，不受其他杂质干扰。整套检测流程为物理 + 生物催化反应，不消耗化学试剂，仅需定期维护酶树脂模块。

基础硬件规格

• 整机结构：落地柜式一体化集成系统

• 外形尺寸：600mm × 600mm × 1200mm

• 整机重量：约 100kg

• 测量区间：0.3～60 ppb

• 检出下限：0.3 ppb（进水溶解氧波动≤0.1 ppb 条件下）

• 自带功能：酶模块老化自诊断、管路自动冲洗、异常报警输出；选配工业通讯对接工厂 MES 系统，实现数据实时上传、超限联锁预警

产品核心优势

1. 全程免化学试剂，不需要配置试剂泵、药剂储罐，不产生化学废液，降低洁净室化学品管理与危废处理成本

2. 针对 TOC‑UV 产水优化，可以精准测量紫外杀菌生成的微量 H₂O₂，规避常规分析仪容易出现的信号漂移、误报问题

3. 智能自诊断监控，实时判断 N‑Lite® DEP 树脂活性衰减状态，提前推送更换预警，避免测量失效造成制程失控

4. 全自动管路冲洗程序，定时清洁流路，抑制管路内部微生物附着，长期保证测量稳定性

5. 高纯湿制程适配设计，流体接触部件采用半导体级高纯材质，不会对水样造成二次污染，不影响超纯水水质

6. 完整的数据记录、报警输出能力，适配半导体工厂自动化无人值守运维模式

典型应用场景

半导体超纯水系统 TOC‑UV 杀菌后端管路监控、纯水回收回路微量监测、湿制程供水水质风险管控，用来预警紫外氧化副产物异常，保护晶圆清洗工艺稳定性，避免氧化物带来的芯片表面缺陷。作为 Fab 纯水品质管控的关键在线监测仪表，常与电阻率监测仪、颗粒计数器配套搭建完整的水质监控体系。

超纯水微量H₂O₂监测仪装置NMS 野村微科学超纯水微量H₂O₂监测仪装置NMS 野村微科学

• 测量方法：N-Lite® DEP+DO 仪

• 尺寸：600毫米 x 600毫米 x 1200毫米

• 重量：约100公斤

• 测量限值：60 ppb

• 检测下限：0.3 ppb（当溶解氧变化在 0.1 ppb 以内时）

• 其他功能：自诊断功能、自动冲洗启动

• 
  N-Lite® DEP 的简单测量原理是将H₂O₂分解成 O₂ ，然后用溶解氧仪测量生成的 O₂ 。

• 由于未
  使用任何化学品，也未添加任何添加剂，因此维护起来很容易。

• N-Lite® DEP非常适合超纯水，还可以测量 TOC-UV 产生的 2O2，而不会受到干扰物质的
  影响 。

• 
  它具有自动检测 N-Lite® DEP 劣化情况的功能，并具备自诊断能力。