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| 品牌 | Pfeiffer Vacuum/普发 | 价格区间 | 5万-10万 |
|---|---|---|---|
| 仪器种类 | 分子泵 | 产品类型 | 无油泵 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 半导体 |
HiPace400 系列为中大抽速复合轴承涡轮分子泵,分为标准款HiPace400、镀膜专用款HiPace400‑P两款本体,采用复合轴承(高真空永磁轴承 + 前级陶瓷球轴承),支持任意方位安装,氮气抽速 355L/s,DN100 进气法兰,可选 TC400、TCP350 两种集成驱动单元,法兰覆盖 ISO‑K 卡箍、ISO‑F 螺栓紧固、CF‑F 全金属密封三类,RS‑485 通讯,TC400 版本支持 Profinet 总线扩展,IP54 防护等级,适配真空镀膜、半导体工艺腔体、表面分析仪器、科研高真空系统。
复合混合轴承,抗粉尘冲击,支持任意角度安装,可现场更换轴承,维护周期长。
两类集成驱动TCP350:DC48V 供电,基础驱动,RS‑485 通讯;TC400:DC48V 高性能驱动,启动速度更快,支持 Profinet 工业总线扩展。
三类法兰可选ISO‑K 卡箍法兰:拆装便捷;ISO‑F 螺栓法兰:刚性强,支持高温烘烤;CF‑F 全金属铜密封法兰:极低放气,满足严苛超高真空工况。
HiPace400‑P 转子专门针对镀膜工艺优化,耐工艺粉尘,气体负载耐受能力更强Pfeiffer V...。
激光动平衡转子,运行噪音≤50dB (A),振动低,对精密设备干扰小。
转速 60‑100% 可调,多重故障报警保护,支持长期连续工业运行。
前级出气 DN25 ISO‑KF;标配对流风冷,可选强制风冷、水冷、防腐涂层、减震器配件Pfeiffer V...。
轴承:复合轴承转速:60000 min⁻¹N₂抽速:355 L/s极限压力:<1×10⁻⁷ hPa进气法兰:DN100 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰:DN25 ISO‑KF重量:11.2‑11.6 kg
轴承:复合轴承转速:60000 min⁻¹N₂抽速:350 L/s极限压力:<1×10⁻⁷ hPa进气法兰:DN100 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰:DN25 ISO‑KF重量:10.9‑11.4 kg
共用参数防护等级:IP54冷却:对流风冷,可选强制风冷、水冷接口:RS‑485,TC400 可扩展工业总线使用环境:0‑40℃,无冷凝标配:放气螺钉、固定紧固件可选配件:水冷套件、减震器、防腐涂层、总线模块
HiPace400‑TCP350‑ISO‑K
HiPace400‑TCP350‑ISO‑F
HiPace400‑TCP350‑CF‑F
HiPace400‑TC400‑ISO‑K
HiPace400‑TC400‑ISO‑F
HiPace400‑TC400‑CF‑F
HiPace400‑P‑TCP350‑ISO‑K
HiPace400‑P‑TCP350‑ISO‑F
HiPace400‑P‑TCP350‑CF‑F
HiPace400‑P‑TC400‑ISO‑K
HiPace400‑P‑TC400‑ISO‑F
HiPace400‑P‑TC400‑CF‑F
合计:12 款标准现货型号特殊电压、防腐涂层为定制版本,不计入标准现货。
真空镀膜腔体,半导体工艺腔体,可烘烤超高真空系统,表面分析仪器,等离子设备,科研高真空实验,检漏设备。
Pfeiffer 普发涡轮分子泵 玉崎供应Pfeiffer 普发涡轮分子泵 玉崎供应
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