24 小时销售热线13058030001
产品中心

Product

当前位置:首页  /  产品中心  /  泵类  /  真空分子泵  /  HiPace 300 H-Pfeiffer 普发HiPace 300 H涡轮分子泵

Pfeiffer 普发HiPace 300 H涡轮分子泵

简要描述:Pfeiffer 普发HiPace 300 H涡轮分子泵HiPace 300 H 为高压缩比版本涡轮分子泵,复合轴承(永磁 + 陶瓷滚珠),专门优化氢气、氦气等轻气体压缩性能,可搭配 TC110、TC400 驱动单元,DN100 多规格进气法兰,支持任意方位安装,振动噪音低,适合质谱、表面分析、超高真空腔体,抑制轻气体返流,降低腔体残余背景气体

基础信息

产品型号

HiPace 300 H-

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-01

浏览次数

85
详细介绍
品牌Pfeiffer Vacuum/普发价格区间5万-10万
仪器种类分子泵产品类型无油泵
产地类别进口应用领域半导体

产品简介

HiPace 300 系列属于中大抽速工业涡轮分子泵,包含三款本体:HiPace 300 P、HiPace 300 H、HiPace 300 Plus,可搭配 TC110、TC400 两种驱动模块,法兰支持 ISO‑K、ISO‑F、CF‑F 三种。采用永磁 + 陶瓷滚珠复合轴承,可任意方位安装,低振动低噪音,RS‑485 通讯,TC400 支持多种工业总线。各版本针对气体负载、轻气体压缩、粉尘颗粒工况分别优化,用于科研腔体、真空镀膜、分析仪器、半导体工艺获取高真空。

产品特点

  1. 复合轴承结构,抗震动冲击,多方向安装均可稳定运行。

  2. 本体版本区分HiPace 300 P:性能版,强化气体吞吐量,适合工艺气体负载偏大工况。HiPace 300 H:高压缩比版,针对氢气、氦气等轻气体压缩性能提升。HiPace 300 Plus:增强耐粉尘版本,转子结构优化,耐受工艺颗粒,适配镀膜等会产生碎屑的腔体。

  3. 两种驱动模块TC110:基础驱动,启动时间 3.5min,RS‑485 通讯。TC400:高性能驱动,1.8min 快速启动,吞吐量更高,支持 Profinet、EtherCAT 总线扩展。

  4. 激光动平衡转子,运行噪音低,减少对精密检测设备干扰。

  5. 完整安全防护,过热、过载、传感器异常报警,支持长期连续运行。

  6. ** 进气法兰 DN100 规格可选;前级 KF16,G1/4 放气接口。

  7. ** 风冷为主,可选择水冷散热;可选减震组件、防腐涂层配件。

基础参数

共用基础轴承:复合轴承氮气抽速:260 L/s极限压力:<1×10⁻⁷ hPa进气法兰:DN100 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰:KF16放气口:G1/4供电:DC24V使用环境:0‑40℃,无冷凝

TC110 驱动:启动 3.5min;TC400 驱动:启动 1.8min整机重量:6.2‑6.7kg

应用场景

真空镀膜腔体,表面分析仪器,科研高真空系统,检漏设备,半导体零部件工艺腔体。

Pfeiffer 普发HiPace 300 H涡轮分子泵Pfeiffer 普发HiPace 300 H涡轮分子泵


在线留言

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
全国咨询热线:13058030001

地址:深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷7号3层

邮箱:qsm@tamasakisemi.com

传真:0755-28770006

扫码加微信

版权所有 © 2026 玉崎半导体(深圳)有限公司    备案号:

技术支持:化工仪器网    sitemap.xml

TEL:13058030001

扫码加微信