简要描述：Pfeiffer 普发 HiPace 300 涡轮分子泵HiPace 300 为中大抽速复合轴承涡轮分子泵，永磁‑陶瓷滚珠混合轴承，支持任意方位安装，搭配 TC110 驱动单元，氮气抽速 260L/s，1.8 分钟快速起泵，RS‑485 通讯，低振动低噪音，具备完整故障自诊断，适配镀膜、分析仪器、半导体设备高真空工况。

产品简介

HiPace 300 系列属于中大抽速工业涡轮分子泵，包含三款本体：HiPace 300 P、HiPace 300 H、HiPace 300 Plus，可搭配 TC110、TC400 两种驱动模块，法兰支持 ISO‑K、ISO‑F、CF‑F 三种。采用永磁 + 陶瓷滚珠复合轴承，可任意方位安装，低振动低噪音，RS‑485 通讯，TC400 支持多种工业总线。各版本针对气体负载、轻气体压缩、粉尘颗粒工况分别优化，用于科研腔体、真空镀膜、分析仪器、半导体工艺获取高真空。

产品特点

1. 复合轴承结构，抗震动冲击，多方向安装均可稳定运行。

2. 本体版本区分HiPace 300 P：性能版，强化气体吞吐量，适合工艺气体负载偏大工况。HiPace 300 H：高压缩比版，针对氢气、氦气等轻气体压缩性能提升。HiPace 300 Plus：增强耐粉尘版本，转子结构优化，耐受工艺颗粒，适配镀膜等会产生碎屑的腔体。

3. 两种驱动模块TC110：基础驱动，启动时间 3.5min，RS‑485 通讯。TC400：高性能驱动，1.8min 快速启动，吞吐量更高，支持 Profinet、EtherCAT 总线扩展。

4. 激光动平衡转子，运行噪音低，减少对精密检测设备干扰。

5. 完整安全防护，过热、过载、传感器异常报警，支持长期连续运行。

6. ** 进气法兰 DN100 规格可选；前级 KF16，G1/4 放气接口。

7. ** 风冷为主，可选择水冷散热；可选减震组件、防腐涂层配件。

基础参数

共用基础轴承：复合轴承氮气抽速：260 L/s极限压力：＜1×10⁻⁷ hPa进气法兰：DN100 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F前级法兰：KF16放气口：G1/4供电：DC24V使用环境：0‑40℃，无冷凝

TC110 驱动：启动 3.5min；TC400 驱动：启动 1.8min整机重量：6.2‑6.7kg

应用场景

真空镀膜腔体，表面分析仪器，科研高真空系统，检漏设备，半导体零部件工艺腔体。

Pfeiffer 普发 HiPace 300 涡轮分子泵Pfeiffer 普发 HiPace 300 涡轮分子泵