简要描述：三菱化学MCP‑S330 低电阻率自动测量系统MCP‑S330 紧凑型自动电阻率测绘平台，三轴自动移动探头，必须搭配 MCP‑T700 (Loresta‑GX) 主机使用，实现板材、薄膜全域多点扫描测绘，输出面电阻、体积电阻率分布与 3D 分布图，用来检测导电膜面内均匀性、镀膜缺陷。

三菱化学MCP‑S330 低电阻率自动测量系统产品特点

1. 三轴自动移动平台，最大测绘范围 300mm×300mm，支持网格、直线、序列三种扫描模式，可导入外部坐标，可连续测量多片试样，无需人工移动探头。2. 可测量表面电阻率 Ω/□、体积电阻率 Ω・cm；配合 MCP‑T700 测量量程 10⁻⁴～10⁷Ω，自动完成测量、运算、数据存储、3D 图谱输出。3. 具备比较判定功能，设置上下公差，超出规格点位自动标记，快速定位薄膜不均、局部异常区域。4. 不受轻微异形试样外形限制，ITO 膜、导电薄膜、金属镀层、导电板材均可测绘；可兼容各类四探针探头更换使用。5. 台式紧凑型机身，占用实验室空间小；XY 轴移动精度 ±0.1mm，Z 轴升降行程 40mm，最小扫描步距 0.1mm，支持精细点位采集。

三菱化学MCP‑S330 低电阻率自动测量系统技术参数

型号：MCP‑S330（紧凑型测绘系统）有效测绘区域：300mm×300mmXY 轴精度：±0.1mmZ 轴行程：40mm最小扫描步距：0.1mm扫描模式：网格、直线、序列，支持外部坐标导入测量对象：搭配四探针探头，测表面电阻率、体积电阻率✅配套主机：MCP‑T700(Loresta‑GX)❌不兼容：MCP‑T370、MCP‑T380、MCP‑T710供电：AC100‑240V 50‑60Hz整机尺寸：W493×D420×H410mm整机重量：约 22kg标配：MCP‑S330 测绘台本体、连接线缆选配：各类四探针探头、电脑软件

应用场景

显示行业：ITO 导电玻璃、导电薄膜、OLED 基板面电阻均匀性检测。新材料：导电涂层、金属镀层、复合导电板材全域分布测绘。电子半导体：基板来料品质管控，快速查找镀膜不均、局部缺陷。

使用注意

1.MCP‑S330 只是测绘运动平台，不能独立测量，必须搭配 MCP‑T700 主机使用，不支持新款 T380/T710 主机。2. 需要搭配对应规格四探针探头完成采集，探头属于损耗件，定期使用校验块点检。3. 台面避免硬物划伤，样品摆放平整，防止探头撞击试样。4. 测绘数据需要电脑端软件读取，生成二维、三维分布图谱。

• 导电薄膜、金属和 ITO 薄膜的厚度和成分的变化显而易见。

• 可以对最大 300 毫米见方的样品进行测绘，并对多个样品进行连续测量。

• 连接到 Loresta GX 时，它可以测量 10⁻⁴ 至 10⁷Ω 范围内的电阻。

• 全自动测量、计算、数据处理和3D图形输出。

导电薄膜、金属和 ITO 薄膜的厚度和成分的变化显而易见。

• 随着显示设备（LCD 和 OLED）对高速响应和高分辨率的需求不断增长，电极基板的均匀性变得更加重要。

• 表面电阻率取决于材料。如果材料均匀，则较厚的薄膜会导致较低的表面电阻率。

• 在薄膜领域，薄膜厚度变化是通过绘制表面电阻率图来评估的。