简要描述：DIC 迪爱生 eFLOW 柜式 超纯水防静电装置C系列配备一个可容纳两个二氧化碳钢瓶的柜体。柜体内置电阻传感器，可将水管直接从eFLOW连接到使用点。

DIC 迪爱生 eFLOW 柜式 超纯水防静电装置产品概述

eFLOW‑C 系列（AC）为独立落地一体式柜体机型，柜体内部设置二氧化碳气瓶安置仓位，采用中空纤维透气膜技术，完成超纯水电阻率调节，消除水流静电。高绝缘超纯水高速喷淋工件时极易积聚静电，引发颗粒吸附、精密器件静电击穿损坏。设备透过中空纤维膜将高纯二氧化碳均匀溶入超纯水，提升水体导电能力，导出水流静电，全程不添加液态化学药剂，不会造成水质二次污染，无需嵌入设备机柜，就位对接管路即可投入运行，适合多条工位共用、产线集中供水场景。

DIC 迪爱生 eFLOW 柜式 超纯水防静电装置主流型号及流量规格

• eFLOW 1AC‑P201：1‑16L/min，内置 PF‑001L‑NA 单模组，可放置 1 瓶钢瓶

• eFLOW 2AC‑P201：5‑30L/min，内置 PF‑001L‑ND2 双模组，可放置 2 瓶钢瓶

• eFLOW 3AC‑P201：10‑50L/min，内置 PF‑001L‑ND3 双模组，可放置 2 瓶钢瓶

• eFLOW 5AC：70‑100L/min，大流量定制柜式机型

配套替换膜芯耗材：PF‑001L‑NA、PF‑001L‑ND2、PF‑001L‑ND3

通用核心参数

• 安装形式：独立落地柜式，柜体集成 CO₂气瓶仓

• 工作水压：0.1‑0.3MPa

• 适用水温：20‑30℃

• 接液材质：高纯氟树脂、PP，无金属离子析出

• 电阻率调节范围：0.1‑15MΩ・cm（随配置模组变化）

• 气体要求：纯度 99.5% 以上高纯 CO₂

产品优势

1. 落地一体化柜体，自带气瓶安放仓位，无需额外搭建气瓶支架，现场管路布设简单，不占用设备机柜空间，适配不方便面板嵌入式安装的工况。2. 分流管路搭配并联膜模组，进水流量波动时出水电阻率波动小，工艺输出稳定。3. 无复杂运动部件，无动态密封，整机故障率低，日常维护工作量小。4. 压力损耗低，原有超纯水管道可直接对接改造，大多不用额外增设增压泵。5. 膜模组支持单独拆装更换，降低长期运维成本；更换模组还可拓展纯水脱氧、弱酸性清洗水制备功能。6. 接液部件采用高洁净材质，内置电阻率监测与报警输出，可对接上位控制系统，满足半导体、光电无尘车间工艺条件。

使用注意事项

1. 接入合格高纯二氧化碳气源，管控供气压力，柜体仓位适配标准钢瓶。2. 定期监测出水电阻率，结合现场工况按时更换对应中空纤维膜芯。3. 通入介质仅限超纯水，强腐蚀液体、有机溶剂严禁进入设备腔体。4. 水压、水温不能超出设备允许工作范围，禁止超工况运行。5. 柜体四周预留操作维护空间，方便气瓶更换以及膜模组拆装作业。

应用场景

半导体工厂集中超纯水供给、多条湿法清洗产线共用；LCD/OLED 面板工厂集中供水；光伏电池片产线；多工位高压喷淋清洗；旧产线升级改造项目，解决静电吸附颗粒、静电放电损伤工件的问题。