简要描述：DIC 迪爱生eFLOW面板安装超纯水防静电装置P系列产品可安装在符合IEA（美国电子工业协会）标准的机架中。1AP型标配全洁净连接器，而2AP型可选配全洁净连接器。

DIC 迪爱生eFLOW面板安装超纯水防静电装置产品概述

eFLOW‑P 系列为 19 英寸 EIA 标准机架面板嵌入式机型，采用中空纤维透气膜技术，集成安装于清洗设备机柜内部，用于超纯水电阻率调节，消除水流静电。高绝缘超纯水高速喷淋工件时会积聚静电，带来颗粒吸附、精密器件静电击穿问题。设备透过中空纤维膜将高纯二氧化碳均匀溶入超纯水，提升水体导电性能，导出水流静电，全程不添加液态化学药剂，不会造成水质二次污染，适配设备整机配套集成。1AP 机型接口为全洁净规格，2AP、3AP 可选择全洁净接口选配。

DIC 迪爱生eFLOW面板安装超纯水防静电装置主流型号及流量规格

• eFLOW 1AP‑B02：1‑16L/min，内置 PF‑001L‑NA×1 模组，液体接口 Rc3/4

• eFLOW 2AP‑B01：5‑30L/min，内置 PF‑001L‑ND2×2 模组，液体接口 Rc1

• eFLOW 3AP‑B01：10‑50L/min，内置 PF‑001L‑ND3×2 模组，液体接口 Rc1

配套替换膜芯耗材：PF‑001L‑NA、PF‑001L‑ND2、PF‑001L‑ND3

通用核心参数

• 安装形式：EIA 标准 19 英寸机架面板嵌入式

• 工作水压：0.1‑0.3MPa

• 适用水温：20‑30℃

• 接液材质：高纯氟树脂、PP，无金属离子析出

• 电阻率调节范围：0.1‑15MΩ・cm（随配置模组变化）

产品优势

1. 标准 19 英寸面板机架结构，直接嵌入设备机柜，不占用洁净车间地面空间，适合设备整机集成配套。2. 分流管路设计，进水流量波动时出水电阻率波动小，工艺输出稳定。3. 无复杂运动部件、无动态密封，整机故障率低，日常维护工作量小。4. 压力损耗低，现有超纯水管路可直接加装，一般无需额外配置增压泵。5. 膜模组模块化设计，支持单独更换，降低长期运维成本；更换模组可拓展纯水脱氧、弱酸性清洗水制备功能。6. 接液部件高洁净材质，满足半导体、光电无尘制程；自带电阻率监测，可对接产线控制系统。

使用注意事项

1. 需要接入合格高纯二氧化碳气源，管控供气压力。2. 定期监测出水电阻率，结合工况按时更换对应中空纤维膜芯。3. 通入介质仅限超纯水，禁止强腐蚀液体、有机溶剂进入设备。4. 水压、水温控制在设备允许区间，禁止超工况运行。5. 机柜安装位置预留维护空间，方便后期模组拆装更换。

应用场景

半导体单片式清洗机、晶圆切割清洗、槽式湿法清洗；LCD/OLED 面板、掩膜板清洗；光学玻璃基板、光伏电池片清洗；各类设备整机配套集成，解决超纯水喷淋带来的静电吸附颗粒、静电放电损伤工件问题。