简要描述：日本Fluoro福乐直压式手动晶圆镊子M100‑200 适配 8 英寸晶圆，PEEK 材质直压式晶片夹，无杠杆锁止机构，手捏夹持松手释放，纯机械无需泵源，干法百级无尘室短距离晶圆取放

M‑E 系列直压手动镊子，纯机械无锁止结构，手捏夹持松手释放；分为 PEEK、PPS、导电 PEEK 三种材质，覆盖 4‑8 英寸晶圆，无需真空泵气源，干法百级无尘室使用。

日本Fluoro福乐直压式手动晶圆镊子产品概述

M‑E 系列无杠杆锁止普通手动镊子，依靠手捏提供夹持力，松开手直接释放晶圆；仅两点夹持晶圆外缘，不触碰晶圆正面图形膜层。

• M100：PEEK 材质（米黄色），机械强度高、耐温好

• M110：PPS 材质（米黄色），高性价比常规款

• E100：导电 PEEK 材质（黑色），ESD 静电泄放，防护静电敏感器件

全部型号不需要真空泵、气管，用于实验室取样、外观检测、短距离晶圆转运。型号释义：M100=PEEK；M110=PPS；E100 = 导电 PEEK；数字代表晶圆英寸尺寸；无‑L = 普通直压无锁止；‑L 后缀为杠杆锁止版本。

日本Fluoro福乐直压式手动晶圆镊子核心特点

1. 直压简易结构，手捏夹紧，松手释放，全程需要手动施加夹持力，无锁止机构。

2. 两点外缘夹持，只接触晶圆侧边，低发尘，规避划伤晶圆膜层、颗粒污染。

3. 三种材质可选：

• M100 PEEK：机械强度高，连续耐温 130℃，可拿取冷却后高温晶圆

• M110 PPS：性价比优异，满足常规无尘实验工况

• E100 导电 PEEK：碳填充导电，完整 ESD 静电泄放，保护静电敏感芯片

4. 晶圆接触位置无金属件、无粘接胶水，无金属离子析出污染晶片。

5. 纯机械结构，不用泵源气源，操作简单，适合机台应急取片、实验室检验。

关键规格

‑材质：PEEK (M100) / PPS (M110) / 导电 PEEK (E100 黑色)‑适配晶圆：4/5/6/8 英寸‑连续耐温：130℃‑结构：直压式，无杠杆锁止‑使用环境：仅限干法百级无尘室，不可浸入化学药液

全部订货型号

M100（PEEK）M100‑100（4 寸）、M100‑125（5 寸）、M100‑150（6 寸）、M100‑200（8 寸）

M110（PPS）M110‑100（4 寸）、M110‑125（5 寸）、M110‑150（6 寸）、M110‑200（8 寸）

E100（导电 PEEK 黑色，ESD 防静电）E100‑100（4 寸）、E100‑125（5 寸）、E100‑150（6 寸）、E100‑200（8 寸）

应用场景

硅晶圆、碳化硅基板、化合物晶片；晶圆外观检测、实验室取样、无尘车间短距离转运、机台应急取片。

提示：长距离搬运需要锁止，选用对应‑L 杠杆锁止系列；湿法取片请选用 F 系列真空镊子。

杠杆锁式手动镊子系列

图像	代码编号	材料	英寸尺寸	尺寸（毫米）			质量（克）	绘画
				W	L1（晶圆外缘）	L2
	M100-150升	窥视	6英寸	40	3	185	71	细节
	M100-200升	窥视	8英寸	55	3	180	72	细节
	M100-300升	窥视	12英寸	75	8	180	77	细节
	E100-150升	导电PEEK	6英寸	40	3	185	71	细节
	E100-200升	导电PEEK	8英寸	55	3	180	72	细节
	E100-300升	导电PEEK	12英寸	75	8	180	77	细节

• 利用杠杆原理，只需最小的力就能保持稳定的夹紧力。

• 使用锁定机构夹紧晶圆后，需要的力就是支撑其质量。

• 这样就省去了像使用手动镊子那样需要持续按住物体的力气。

• 它可实现轻松安全的剪发，确保工作时的安心，并保证更高的效率。

• 由于夹紧面只有两点接触，因此晶圆的污染被降至。

• PEEK材料具有优异的韧性、耐热性和耐化学性。

手动镊子 L 系列产品线

图像	代码编号	材料	英寸尺寸	尺寸（毫米）			质量（克）	绘画
				W	L1（晶圆外缘）	L2
	M100-100	窥视	4英寸	16	4	146	30	细节
	M100-125	窥视	5英寸	32	5	148	31	细节
	M100-150	窥视	6英寸	37	6	147	31	细节
	M100-200	窥视	8英寸	37	8	147	32	细节
	M110-100	个人电源	4英寸	16	4	146	31	细节
	M110-125	个人电源	5英寸	32	5	148	32	细节
	M110-150	个人电源	6英寸	37	6	147	33	细节
	M110-200	个人电源	8英寸	37	8	147	33	细节
	E100-100	导电PEEK	4英寸	16	4	146	31	细节
	E100-125	导电PEEK	5英寸	32	5	148	33	细节
	E100-150	导电PEEK	6英寸	37	6	147	34	细节
	E100-200	导电PEEK	8英寸	37	8	147	34	细节

• 晶圆表面接触区域仅涉及两个接触点，最大限度地减少了晶圆的污染。

• 与传统的金属镊子不同，它不会有损坏晶圆的风险。

• 采用独特的晶圆挡块，可防止与晶圆发生不必要的接触。

• 主机不含任何粘合剂或金属，因此可以轻松清洁并始终保持清洁。

• 您可以选择适合您应用的材料。

手动镊子所用材料清单

• 材料

• 材质特性

• PEEK 与 CNT

• 这种PEEK树脂中注入了纳米碳，使其具有优异的导电性、耐化学性、耐热性和机械强度。
  但是，它会溶解于浓硫酸中。

• 窥视

• 聚醚醚酮具有优异的耐化学性、耐热性和机械强度。
  然而，它们会溶于浓硫酸。

• PPS Fortron

• 与PEEK不同，它不溶于浓硫酸。
  其耐化学性、耐热性和机械强度均不如PEEK。

*PEEK（聚醚醚酮）由宝丽塑料有限公司提供的材料制成。
*PPS（聚苯硫醚）由宝丽塑料有限公司提供的材料制成。
*含碳纳米管（CNT）的PEEK由宝丽塑料有限公司提供的材料制成。