简要描述：日本 Fluoro 福乐杠杆锁式手动晶圆机械镊子M100‑150L 为 6 英寸晶圆杠杆锁晶片夹，PEEK 材质，杠杆锁止机构，夹持锁定无需持续用力，纯机械无需泵源，用于干法无尘室晶圆取放转运。

日本 Fluoro 福乐杠杆锁式手动晶圆机械镊子产品概述

杠杆锁式手动镊子，型号后缀带‑L，采用杠杆棘轮锁止结构，捏合夹持晶圆后一键锁死保持夹紧状态，再次按压解锁释放工件；仅两点接触晶圆外缘，不触碰晶圆正面图形膜层；分为 M100‑L（标准 PEEK）、E100‑L（导电 PEEK 防静电）两大材质组别，覆盖 4‑12 英寸硅片、碳化硅基板，百级无尘室使用，用于晶圆检验、取样、长距离转运，无需配套泵源。型号释义：M100 = 标准 PEEK；E100 = 导电 PEEK；数字代表晶圆尺寸；‑L = 杠杆锁止机构。

日本 Fluoro 福乐杠杆锁式手动晶圆机械镊子核心特点

1. 杠杆棘轮锁止结构，夹紧后锁定夹持力，无需一直手捏，长距离搬运缓解手部疲劳，夹持力稳定不受人为操作差异影响。

2. 两点外缘夹持，只接触晶圆侧边，不接触器件图形面，抛光接触面低发尘，降低划伤、颗粒污染风险。

3. 两种材质可选：M100‑L PEEK 耐高温、机械强度高；E100‑L 导电 PEEK，实现 ESD 静电泄放，保护敏感器件。

4. 无金属接触晶圆部位，无胶水析出，连续耐温 130℃，冷却后高温晶圆可直接拿取。

5. 纯机械结构，不用真空泵、不用气管，操作简单，适合实验室、机台应急取片。

关键规格

‑材质：PEEK（M100‑L） / 导电 PEEK（E100‑L）‑适配晶圆：4‑12 英寸‑耐温：连续 130℃‑接触方式：两点外缘夹持‑机构：杠杆棘轮锁止‑使用环境：百级干法无尘室，不可浸入化学药液，湿法选用 F 系列真空吸笔

常用订货型号

M100‑100L（4 寸 PEEK）、M100‑150L（6 寸 PEEK）、M100‑200L（8 寸 PEEK）、M100‑300L（12 寸 PEEK）E100‑100L（4 寸 导电 PEEK）、E100‑150L（6 寸 导电 PEEK）、E100‑200L（8 寸 导电 PEEK）、E100‑300L（12 寸 导电 PEEK）

应用场景

硅晶圆、碳化硅基板、化合物晶片；晶圆检测、实验室取样、无尘车间长距离转运、机台应急取片。

提示：仅限干法工况，禁止浸泡化学药液；E100‑L 导电款用于 ESD 防静电产线。

杠杆锁式手动镊子系列

图像	代码编号	材料	英寸尺寸	尺寸（毫米）			质量（克）	绘画
				W	L1（晶圆外缘）	L2
	M100-150升	窥视	6英寸	40	3	185	71	细节
	M100-200升	窥视	8英寸	55	3	180	72	细节
	M100-300升	窥视	12英寸	75	8	180	77	细节
	E100-150升	导电PEEK	6英寸	40	3	185	71	细节
	E100-200升	导电PEEK	8英寸	55	3	180	72	细节
	E100-300升	导电PEEK	12英寸	75	8	180	77	细节

• 利用杠杆原理，只需最小的力就能保持稳定的夹紧力。

• 使用锁定机构夹紧晶圆后，需要的力就是支撑其质量。

• 这样就省去了像使用手动镊子那样需要持续按住物体的力气。

• 它可实现轻松安全的剪发，确保工作时的安心，并保证更高的效率。

• 由于夹紧面只有两点接触，因此晶圆的污染被降至。

• PEEK材料具有优异的韧性、耐热性和耐化学性。

手动镊子 L 系列产品线

图像	代码编号	材料	英寸尺寸	尺寸（毫米）			质量（克）	绘画
				W	L1（晶圆外缘）	L2
	M100-100	窥视	4英寸	16	4	146	30	细节
	M100-125	窥视	5英寸	32	5	148	31	细节
	M100-150	窥视	6英寸	37	6	147	31	细节
	M100-200	窥视	8英寸	37	8	147	32	细节
	M110-100	个人电源	4英寸	16	4	146	31	细节
	M110-125	个人电源	5英寸	32	5	148	32	细节
	M110-150	个人电源	6英寸	37	6	147	33	细节
	M110-200	个人电源	8英寸	37	8	147	33	细节
	E100-100	导电PEEK	4英寸	16	4	146	31	细节
	E100-125	导电PEEK	5英寸	32	5	148	33	细节
	E100-150	导电PEEK	6英寸	37	6	147	34	细节
	E100-200	导电PEEK	8英寸	37	8	147	34	细节

• 晶圆表面接触区域仅涉及两个接触点，最大限度地减少了晶圆的污染。

• 与传统的金属镊子不同，它不会有损坏晶圆的风险。

• 采用独特的晶圆挡块，可防止与晶圆发生不必要的接触。

• 主机不含任何粘合剂或金属，因此可以轻松清洁并始终保持清洁。

• 您可以选择适合您应用的材料。

手动镊子所用材料清单

• 材料

• 材质特性

• PEEK 与 CNT

• 这种PEEK树脂中注入了纳米碳，使其具有优异的导电性、耐化学性、耐热性和机械强度。
  但是，它会溶解于浓硫酸中。

• 窥视

• 聚醚醚酮具有优异的耐化学性、耐热性和机械强度。
  然而，它们会溶于浓硫酸。

• PPS Fortron

• 与PEEK不同，它不溶于浓硫酸。
  其耐化学性、耐热性和机械强度均不如PEEK。

*PEEK（聚醚醚酮）由宝丽塑料有限公司提供的材料制成。
*PPS（聚苯硫醚）由宝丽塑料有限公司提供的材料制成。
*含碳纳米管（CNT）的PEEK由宝丽塑料有限公司提供的材料制成。