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| 品牌 | IKC/入江工研 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,半导体,机械设备 |
两端 JIS 标准真空法兰，配置旋转法兰，现场对位安装便捷，适配日系设备标准接口。
VF 标准款满足常规静态补偿；VFP 加厚款，耐受反复弯折，疲劳寿命更高。
螺旋波纹柔性结构，可适度弯曲，吸收设备安装偏差，隔绝泵体振动向腔体传递。
不锈钢材质，放气率低，支持 250℃整体烘烤除气，满足中真空使用需求。
多档标准供货长度，支持特殊长度定制，适配真空泵与腔体之间长距离柔性连接。
日系半导体工艺设备、真空镀膜设备、干式真空泵排气管路、科研真空腔体、各类采用 JIS 真空法兰标准的中真空设备柔性配管。
用于静态弯曲、小位移补偿，不适合高频往复伸缩工况。
严禁过度弯折、扭转变形，避免波纹部位损伤造成泄漏。
JIS 法兰装配需配套密封垫片，螺栓对角均匀锁紧，保障密封性能。
仅限真空负压工况，不可作为压力管道使用。
| 压力条件 | （内部）真空 （外部）大气压力 |
|---|---|
| 温度条件 | 室温（烘焙过程中最高温度250°C） |
| 长度 | 500、1000、1500、2000毫米 |
| 管材 | 不锈钢 |
| 法兰材料 | 不锈钢 |
| 泄漏 | 1× 10⁻⁷ Pa ·m³ / s 或更低 |
| JIS法兰类型（VF3000 / VFP3000） | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 格式 | （双） | （Bo） | d | D | PCD | 安装孔 | 一个 | [PDF] 产品图纸下载 | ||||
| VF | VFP | VF | VFP | VF | VFP | VF | VFP | |||||
| VF3025 | VFP3025 | 25.0 | 25.0 | 34.0 | 32.2 | 34.0 | 90 | 70 | 4-10 | 50 | ||
| VF3040 | VFP3040 | 38.2 | 41.0 | 50.0 | 50.5 | 48.6 | 105 | 85 | 4-10 | 50 | ||
| VF3050 | VFP3050 | 53.3 | 50.1 | 66.5 | 60.5 | 60.5 | 120 | 100 | 4-10 | 50 | ||
| VF3065 | VFP3065 | 66.5 | 62.8 | 86.5 | 85.0 | 76.3 | 145 | 120 | 4-12 | 50 | ||
| VF3080 | VFP3080 | 78.0 | 78.0 | 101.0 | 102.0 | 89.1 | 160 | 135 | 4-12 | 50 | ||
| VF3100 | VFP3100 | 103.0 | 100.0 | 127.0 | 126.0 | 114.3 | 185 | 160 | 8-12 | 50 | ||
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