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| 品牌 | IKC/入江工研 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,半导体,机械设备 |
两端 CF 刀口密封法兰，单端旋转法兰，方便对位安装，金属刀口密封，实现超高真空密封效果。
VF 标准款满足常规静态补偿；VFP 加厚款，耐受反复弯折，疲劳寿命更高。
螺旋波纹柔性结构，允许适度弯曲，吸收设备安装偏差，隔离真空泵振动向腔体传递。
不锈钢材质，放气率低，支持 250℃整体烘烤除气，适配超高真空除气工艺。
多档标准供货长度，支持特殊长度定制，适配腔体‑分子泵之间长距离柔性连接。
半导体超高真空工艺腔体、电子显微镜设备、分子泵机组连接管路、科研实验超高真空腔体、各类需要烘烤除气的高真空设备配管。
以静态弯曲、小位移补偿为主，不适合高频往复伸缩工况。
严禁过度弯折、扭转变形，避免波纹部位损伤造成泄漏。
CF 法兰装配需要搭配铜密封垫圈，螺栓对角均匀锁紧，保障密封性能。
仅限真空负压工况，不可作为压力管道使用。
| 压力条件 | （内部）真空 （外部）大气压力 |
|---|---|
| 温度条件 | 室温（烘焙过程中最高温度250°C） |
| 长度 | 500、1000、1500、2000毫米 |
| 管材 | 不锈钢 |
| 法兰材料 | 不锈钢 |
| 泄漏 | 1× 10⁻⁹ Pa ·m³ / s 或更低 |
| CF法兰型（VF2000 / VFP2000） | ||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 格式 | （双） | （Bo） | d | D | PCD | 安装孔 | 一个 | [PDF] 产品图纸下载 | ||||
| VF | VFP | VF | VFP | VF | VFP | VF | VFP | |||||
| VF2034 | VFP2034 | 25.0 | 25.0 | 34.0 | 32.2 | 18.0 | 33.8 | 27.0 | 6-4.4 | 50.0 | ||
| VF2070 | VFP2070 | 38.2 | 41.0 | 50.0 | 50.5 | 38.0 | 69.3 | 58.7 | 6-6.8 | 50.0 | ||
| VF2114 | VFP2114 | 66.5 | 62.8 | 86.5 | 85.0 | 63.5 | 113.5 | 92.2 | 8-8.5 | 75.0 | ||
| VF2152 | VFP2152 | 103.0 | 100.0 | 127.0 | 126.0 | 101.6 | 151.6 | 130.3 | 16-8.5 | 80.0 | ||
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