简要描述：TORAY 东丽 MS‑510 转换器多点氧分析单元MS‑510 为多点系统配套的单通道转换单元，需要搭配 MS‑500 主机控制器以及 SD 直插传感器一起使用，整套系统最多可扩展 8 路 MS‑510 单元，实现多腔体同步氧含量采集。体积小巧，适配设备内部狭小空间安装，探头直接接入腔体，无需取样系统，多用于半导体集群设备多条产线残氧监测。

TORAY 东丽 MS‑510 转换器多点氧分析单元核心参数

测量原理：氧化锆浓差电池设备组成：MS‑510 转换单元，搭配 MS‑500 控制器、SD 直插传感器；标配 2 米连接线，线缆最长可延长至 10 米测量范围：0.001ppm～100vol% 氧气，支持自动、固定量程切换，适配高真空到常压工况显示：无本地显示，全部数据由 MS‑500 控制器统一输出通讯：通道信号上传至 MS‑500 控制器，控制器端提供 RS‑232C，可拓展 LAN 通讯供电：DC24V预热时长：6 分钟以内安装接口：SD 传感器可选 R3/8 螺纹、NW16/NW25/NW40 真空法兰样气条件：气体温度 0‑100℃，露点低于环境温度；支持扩散式无流量测量，也适配 0.5‑5L/min 样气流量尺寸：100×40×88mm重量：MS‑510 转换单元约 0.5kg；SD 传感器 0.2‑0.35kg，随法兰规格变化测量精度：≥1% 量程 ±0.5% FS；＜1% 量程取 ±1% FS 或 ±0.1ppm 二者较大值，0‑1ppm 区间不做精度保障

TORAY 东丽 MS‑510 转换器多点氧分析单元产品优势

1. 模块化扩展设计，一台 MS‑500 主机最多外接 8 台 MS‑510，实现 8 个点位独立测量，相比多立仪表，节省柜体空间，降低整体配套成本。2. 分体结构，MS‑510 转换器可以就近布置在腔体周边，SD 探头直接接入腔体，不用取样泵与取样管路，规避取样带来的测量误差，真空工况直接测氧。3. 本体体积紧凑，适合设备内部狭小空间内嵌安装，各个测量点位独立处理信号，抗干扰能力强。4. 传感器带有防护涂层，耐损耗，适合长时间不间断在线监测；量程覆盖 ppm 微量氧到百分比氧浓度。5. 可配套过滤组件，过滤粉尘、工艺挥发物，保护传感器，适配镀膜、热处理等复杂工艺工况。6. 整套系统由 MS‑500 统一汇总所有通道数据，方便对接上位机做集中数据采集。

使用注意事项

1. 被测气体不能含有氯气、氟气等腐蚀性介质、有机硅、大量油污，会损伤氧化锆传感芯体，不适用于强还原性气体环境。2. 粉尘、油雾较多工况，每一路传感器都需要配置前置过滤组件；气体露点必须低于环境温度，防止结露损坏传感器。3. 不支持 ppb 等级氧检测，0‑1ppm 极低氧工况不推荐选用；SD 传感器属于消耗件，每一路探头都需要定期校验维护。4.MS‑510 工作环境 0‑40℃，传感器工作环境 0‑50℃，不可用于防爆区域。5.MS‑510 不能单独使用，必须配合 MS‑500 控制器才可以正常工作。

应用场景

半导体多腔体 PVD、CVD 设备集群氧含量监控；多工位手套箱；多台热处理炉、氮气保护炉集中管控；功率半导体、封装产线多点氧浓度在线监测。

产品规格

总体规格

控制器规格

检测单元（转换器、传感器）规格

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