测量原理：氧化锆浓差电池配套主机：LD‑450‑T、LD‑600、MS‑510 转换模块安装接口：NW16 ISO 真空法兰整体长度：100mm；传感段 Φ11×39mm，本体 Φ40×51mm重量：约 0.2kg适配工况：压力 10⁻³Pa～200kPa 绝压；样气温度 0‑100℃；露点低于环境温度测量方式：扩散式无流量测量，也适配 0.5‑5L/min 样气流量线缆：标配 2 米专用连接线，最大可延长至 10 米测量范围：跟随配套主机，ppm 级～100vol% 氧气精度：≥1% 量程 ±0.5% FS；＜1% 量程取 ±1% FS 或 ±0.1ppm 二者较大值，0‑1ppm 区间不保障精度传感器工作温度：0‑50℃

TORAY 东丽 SD16NW 直插氧气分析仪传感器产品优势

1.NW16 小型真空法兰，占用腔体接口空间小，适配腔体法兰口尺寸有限的设备。2. 直插式安装，探头直接接触腔体内气体，省去取样泵与管路，消除取样带来的测量滞后与误差，真空环境直接测氧。3. 传感芯体带特殊防护涂层，抗损耗，响应速度快，适合长期不间断在线监测。4. 通用性强，同系列多款主机、转换单元均可直接匹配，方便设备选型替换。5. 结构紧凑，重量轻，对腔体负载影响小，可搭配过滤组件阻挡粉尘、工艺挥发物，保护传感芯体。

使用注意事项

1. 被测气体禁止含有氯气、氟气等腐蚀性介质、有机硅、大量油污，会直接损坏氧化锆芯体，不适用于强还原性气氛。2. 粉尘、油雾较多工况，前端务必加装过滤组件；气体露点必须低于环境温度，防止结露损坏探头。3. 不能单独使用，必须搭配对应型号转换器；属于消耗部件，需要定期校验维护。4. 不支持 ppb 级别氧检测，0‑1ppm 极低氧工况不推荐选用；不可用于防爆环境。

应用场景

小型真空镀膜腔体、微型手套箱；小型热处理炉；科研实验真空腔体；空间受限的半导体、锂电配套设备氧含量监测。

产品规格

总体规格

模型	控制器：MS-500 转换器：MS-510 传感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW
测量点数量	最多可测量 8 个点（每个测量点需要一套检测单元）。
测量方法	氧化锆氧浓度电池类型
显示范围	0.001 ppm 至 100%
安装条件	安装地点：室内，非防爆区域。环境温度：控制器/转换器：0-40°C，　　　　　传感器单元：0-50°C。环境湿度：35-80%RH（无冷凝）。安装温度：控制器/转换器：0-40°C，　　　　　　传感器单元：0-100°C。不得含有易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分。

控制器规格

尺寸	92宽 x 44高 x 120深（毫米）
大量的	约0.6公斤
安装方法	使用M3螺钉进行面板安装
电源	电源：直流24V，0.3A
浓度显示	自动量程，4位数字显示（浓度显示），自动量程切换显示： 0-1/10/100/1000ppm/1/10/100%
通信输出规范	通信方式：单向，符合 RS-232C 标准，D-sub 9 针接口（针脚接触）传输速率：9,600/19,200/38,400 bps LAN 连接：可选
选项	LAN 输出（传输输出）

检测单元（转换器、传感器）规格

尺寸	转换器：100（宽）x 40（高）x 88（深）（单位：毫米，不含凸起部分）传感器：总长度 100（单位：毫米）
大量的	转换器：约 0.5 千克；传感器：约 0.3 千克
安装方法	转换器：用M3螺钉固定在平面上。传感器：ISO真空法兰连接。
联系	转换器和传感器之间的连接是通过专用电缆实现的；标准长度为 2 米，最大长度为 10 米。
热身时间	6分钟内
电源	电源：直流24V，2A；功耗：60VA（标准：15VA）
重复性	浓度范围 0-1% 及以上：±0.5% FS 或更低。浓度范围 0-1% 及以下：±1.0% FS 或 ±0.1 ppm，以较大者为准。 *浓度范围 0-1 ppm 及以下不予保证。
空中点稳定性	±1.0%FS 或更低/24 小时
样品条件	请勿在还原性气氛中使用。此外，如果被测气体的比热容较高，例如氦气浓度较高，则可能无法使用。温度：0 至 100°C ；压力：10⁻³ Pa至 200 kPa（绝对压力）；湿度：露点低于环境温度；流速：0.5 至 5 L/min 或 0 L/min（在自然扩散条件下测量）。