测量原理：氧化锆浓差电池设备组成：MS‑500 控制器 + SD 系列直插传感器，单台主机支持 1‑8 通道，标配线缆 2 米，最长可延长至 10 米测量范围：0.1ppm～100vol% 氧气，支持自动、固定量程切换，适配 10⁻³Pa 高真空至 200kPa 绝压工况显示：4 位数码管分通道显示氧浓度通讯输出：RS‑232C，可选配 EtherCAT、LAN 通讯供电：DC24V预热时长：6 分钟以内安装接口：SD 传感器可选 NW16/NW25/NW40 真空法兰样气条件：气体温度 0‑100℃，露点低于环境温度；支持扩散式无流量测量，适配 0.5‑5L/min 样气流量尺寸：控制器 92×44×120mm重量：控制器约 0.6kg；SD 传感器 0.2‑0.35kg，随法兰规格变化测量精度：≥1% 量程 ±0.5% FS；＜1% 量程取 ±1% FS 或 ±0.1ppm 二者较大值，0‑1ppm 区间精度不作保障

TORAY 东丽 MS‑500 多路氧气分析仪产品优势

1. 一台控制器可带最多 8 个检测点位，多路独立测量，替代多台单机仪表，节省设备柜体空间，降低综合成本。2. 兼容 SD 系列直插探头，探头直接安装腔体，不需要取样泵和管路，消除取样带来的测量偏差，真空环境直接测氧。3. 控制器体积小巧，可面板安装，传感器与主机分离布置，探头布置在各个腔体，主机集中放置电控柜。4. 各通道独立采集数据，数字通讯输出，便于对接 PLC、上位机，实现多点数据集中采集、远程监控。5. 传感器带防护涂层，抗损耗，适合长时间连续运行，量程覆盖 ppm 微量氧到百分比氧浓度。6. 可搭配过滤组件，过滤粉尘杂质，保护传感器，适配多套真空炉、镀膜设备集群使用。

使用注意事项

1. 被测气体不能含有氯气、氟气等腐蚀性介质、有机硅、大量油污，会损伤氧化锆传感芯体，不适用于强还原性气体。2. 粉尘、油雾较多工况，每个点位都需要配置前置过滤组件；气体露点必须低于环境温度，防止结露损坏传感器。3. 不支持 ppb 等级氧检测，0‑1ppm 极低氧工况不推荐选用；传感器属于消耗件，每个通道探头均需要定期校验维护。4. 控制器工作环境 0‑40℃，传感器工作环境 0‑50℃，不可用于防爆区域。

应用场景

半导体多条 PVD、CVD 真空腔体集群氧含量监控；多工位手套箱；多台热处理炉、氮气保护炉集中管控；功率半导体、封装产线多点氧浓度在线监测。

产品规格

总体规格

模型	控制器：MS-500 转换器：MS-510 传感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW
测量点数量	最多可测量 8 个点（每个测量点需要一套检测单元）。
测量方法	氧化锆氧浓度电池类型
显示范围	0.001 ppm 至 100%
安装条件	安装地点：室内，非防爆区域。环境温度：控制器/转换器：0-40°C，　　　　　传感器单元：0-50°C。环境湿度：35-80%RH（无冷凝）。安装温度：控制器/转换器：0-40°C，　　　　　　传感器单元：0-100°C。不得含有易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分。

控制器规格

尺寸	92宽 x 44高 x 120深（毫米）
大量的	约0.6公斤
安装方法	使用M3螺钉进行面板安装
电源	电源：直流24V，0.3A
浓度显示	自动量程，4位数字显示（浓度显示），自动量程切换显示： 0-1/10/100/1000ppm/1/10/100%
通信输出规范	通信方式：单向，符合 RS-232C 标准，D-sub 9 针接口（针脚接触）传输速率：9,600/19,200/38,400 bps LAN 连接：可选
选项	LAN 输出（传输输出）

检测单元（转换器、传感器）规格

尺寸	转换器：100（宽）x 40（高）x 88（深）（单位：毫米，不含凸起部分）传感器：总长度 100（单位：毫米）
大量的	转换器：约 0.5 千克；传感器：约 0.3 千克
安装方法	转换器：用M3螺钉固定在平面上。传感器：ISO真空法兰连接。
联系	转换器和传感器之间的连接是通过专用电缆实现的；标准长度为 2 米，最大长度为 10 米。
热身时间	6分钟内
电源	电源：直流24V，2A；功耗：60VA（标准：15VA）
重复性	浓度范围 0-1% 及以上：±0.5% FS 或更低。浓度范围 0-1% 及以下：±1.0% FS 或 ±0.1 ppm，以较大者为准。 *浓度范围 0-1 ppm 及以下不予保证。
空中点稳定性	±1.0%FS 或更低/24 小时
样品条件	请勿在还原性气氛中使用。此外，如果被测气体的比热容较高，例如氦气浓度较高，则可能无法使用。温度：0 至 100°C ；压力：10⁻³ Pa至 200 kPa（绝对压力）；湿度：露点低于环境温度；流速：0.5 至 5 L/min 或 0 L/min（在自然扩散条件下测量）。