测量原理：氧化锆浓差电池设备组成：LD‑600 转换器 + SD 直插传感器，标配 2 米连接线，线缆最大可延长至 10 米测量范围：0.001ppm～100vol% 氧气，支持自动、固定量程切换，适配高真空到常压工况显示：设备本体无显示屏，浓度数据通过总线对外输出通讯输出：EtherCAT 总线接口，兼容 CoE、FoE 协议供电：DC24V，最大功耗 80VA，稳定工作功耗 30VA预热时长：6 分钟以内安装接口：R3/8 螺纹、NW16/NW25/NW40 真空法兰可选样气条件：气体温度 0‑100℃，露点低于环境温度；支持扩散式无流量测量，也可适配 0.5‑5L/min 样气流量重量：转换器约 0.8kg；SD 传感器 0.2‑0.35kg（法兰规格不同重量存在差异）尺寸：转换器 65×130×125mm测量精度：≥1% 量程 ±0.5% FS；＜1% 量程取 ±1% FS 或 ±0.1ppm 二者较大值，0‑1ppm 区间不做精度保障

TORAY 东丽 LD‑600/SD 氧气分析仪产品优势

1. 分体直插结构，SD 探头直接安装进腔体，无需取样泵与取样管路，规避取样环节造成的测量误差，真空工况下可以直接检测氧含量。2. 转换器体积小巧，传感器和主机分开布置，探头放置腔体端，转换器安装在电控柜，适配设备内部集成布局。3.EtherCAT 高速工业总线，数据传输速度快，便于对接自动化控制系统，实现产线联动控制。4. 传感器带有防护涂层，耐损耗，适合长时间不间断在线监测。5. 量程覆盖范围广，ppm 微量氧到百分比氧浓度均可检测，可加装过滤组件，阻挡粉尘杂质，延长传感器使用寿命。6. 工业级整机性能，适配各类自动化设备配套。

使用注意事项

1. 被测气体不能含有氯气、氟气等腐蚀性介质、有机硅、大量油污，会损伤氧化锆传感芯体，不适用于强还原性气体环境。2. 粉尘、油雾较多工况，必须加装前置过滤组件；气体露点需低于环境温度，避免结露损坏传感器。3. 不支持 ppb 等级氧检测，0‑1ppm 极低氧工况不推荐选用；传感器为消耗件，需要定期校验维护。4. 转换器使用环境 0‑40℃，传感器使用环境 0‑50℃，不能用于防爆场所。

应用场景

半导体真空镀膜、PVD 溅射腔体氧含量监控；锂电手套箱、自动化热处理炉；惰性气体管路纯度管控；各类自动化真空设备氧浓度在线监测。

产品规格

设备规格

形状		分体式（转换器：固定式/壁挂式，传感器：直接插入式）
显示方法		无显示
测量范围		精度范围：0.001 ppm 至 100%（10⁻²⁰至10⁻⁰ atm设置可选）浮点输出，单位为 ppm
传感器连接		ISO真空法兰NW16、25、40 或R3/8螺纹
联系		转换器和传感器之间的连接是通过专用电缆实现的；标准长度为 2 米，最大长度为 10 米。
比较气体		气氛
大量的	转换器	LD-600：约 0.8 公斤
大量的	传感器	SD16NW：约0.2千克； SD25NW：约0.2千克； SD40NW：约0.35千克
外部尺寸	转换器	LD-600：65（宽）x 130（高）x 125（深）（单位：毫米，不含凸起部分）
外部尺寸	传感器	SD16NW：总长度 100mm（感应部分 φ11×39，主体部分 φ40×51） SD25NW：总长度 100mm（感应部分 φ11×42，主体部分 φ40×48） SD40NW：总长度 100mm（感应部分 φ11×41，主体部分 φ40×49）（单位：mm，不含凸起部分）注：传感器单元将根据客户对每个检测部分的指定，为 SD16NW/SD25NW/SD40NW 之一。

特征

重复性	对于大于 0-1% 的量程：精度为 ±0.5%FS 或更低。对于小于 0-1% 的量程：精度为 ±1.0%FS 或 ±0.1ppm，以较大者为准。 *小于 0-1ppm 的量程无法保证精度。
空中点稳定性	±1%FS 或更低/24 小时
热身时间	6分钟内

工程规范

通信输出规范	通信方式：EtherCAT 接口（符合 ETG 5003.1、ETG 5003.2 标准）协议：通用设备协议协议：兼容 ETG 5003.1 CDP（CoE、FoE）
样品气体条件	请勿在还原性气氛中使用。此外，如果被测气体的比热容较高，例如高浓度氦气 (He)，则可能无法使用。规格：温度：0–100°C ；压力：10⁻³ Pa –200 kPa（绝对压力）；湿度：露点低于环境温度；流速：0.5–5 L/min 或 0 L/min（自然扩散条件下测量）。
热身时间	6分钟内
电源	电源：直流24V，3A；功耗：80VA（稳定状态：30VA）
安装条件	安装地点：室内，非防爆区域。环境温度：转换器：0-40°C，　　　　　传感器：0-50°C。环境湿度：35-80%RH（无冷凝）。安装温度：转换器：0-40°C，　　　　　　传感器：0-100°C。不得含有易燃成分、卤素、二氧化硅或腐蚀性成分。