产品型号
SE‑N16厂商性质
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2026-08-21浏览次数
97产品描述
MIYUKI 美幸辉 SE 系列气动直通式真空阀SE‑N16 属于 SE 系列紧凑型气动直通真空阀，KF16 (NW16) 快拆法兰，单作用弹簧常闭气缸驱动，通气开启，断气自动关闭防止大气倒灌腔体。直通直线流道，气缸内置无外凸执行机构，整机体积小巧，节省设备内部安装空间，两位式全开全关，无节流调节功能，适配常压至 10⁻⁵Pa 中高真空，多用于真空计支路、小型腔体旁路、分子泵前级管路通断隔离。
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BJ4‑C200厂商性质
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80产品描述
MIYUKI美幸辉BJ4系列镀膜设备真空蝶阀BJ4系J4‑C200 属于 BJ4 系列伺服电动真空蝶阀，CF200 刀口法兰规格，三菱 J4 伺服电机驱动，集管路切断与开度节流调节一体，阀板 0‑90° 可任意定位。无需分开配置切断阀与节流阀，减少真空管路泄漏点，CF 刀口法兰适配超高真空、可烘烤工况，适配常压至高真空工况，多用于大口径超高真空腔体排气、泄压、压力闭环调控，适配半导体、电子束设备
产品型号
BJ4‑C160厂商性质
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86产品描述
MIYUKI美幸辉BJ4系列伺服电动真空蝶阀BJ4‑C160 属于 BJ4 系列伺服电动真空蝶阀，CF160 刀口法兰规格，三菱 J4 伺服电机驱动，集管路切断与开度节流调节一体，阀板 0‑90° 可任意定位。无需分开配置切断阀与节流阀，减少真空管路泄漏点，CF 刀口法兰适配超高真空、可烘烤工况，适配常压至高真空工况，多用于大口径超高真空腔体排气、泄压、压力闭环调控，适配半导体、电子束设备
产品型号
BJ4‑C100厂商性质
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102产品描述
MIYUKI美幸辉BJ4系列半导体真空调节阀BJ4‑C100 属于 BJ4 系列伺服电动真空蝶阀，CF100 刀口法兰规格，三菱 J4 伺服电机驱动，集管路切断与开度节流调节一体，阀板 0‑90° 可任意定位。无需分开配置切断阀与节流阀，减少真空管路泄漏点，CF 刀口法兰适配超高真空、可烘烤工况，适配常压至高真空工况，多用于大流量超高真空腔体排气、泄压、压力闭环调控，适配半导体、电子束设备
产品型号
BJ4‑C63厂商性质
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2026-08-21浏览次数
83产品描述
MIYUKI美幸辉BJ4系列伺服CF 真空蝶阀BJ4 系列是 MIYUKI 美幸辉伺服电机驱动真空蝶阀，一台阀门同时实现管路全闭切断 + 流导节流调压，蝶板 0‑90° 任意角度定位，启闭速度可调，无需搭配切断阀 + 节流阀两套阀体，简化真空管路布局，不需要压缩空气气源，便于自动化系统集成
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