新品推荐！DIC 迪爱生 PF-001L-ND3 脱气模组，适配超纯水防静电系统

在半导体晶圆湿法清洗工序当中，超纯水是使用频次最高的工艺介质。超高纯度的 DI 水电阻率，绝缘性强，在喷淋、高压喷射、晶圆冲洗的过程中极易产生静电积累。静电不仅会吸附空气中的微颗粒重新附着在晶圆表面，造成颗粒不良，严重时还会直接击穿芯片上的精细线路、MEMS 结构，引发器件性损伤。行业内主流的防静电方案，是通过向超纯水内精准溶入二氧化碳，调节水体电阻率，建立稳定的静电泄放通道，抑制静电蓄积。而这套 eFLOW 超纯水防静电系统的稳定运行，对前端的脱气单元提出了严苛要求：超纯水内部溶解氧、二氧化碳含量波动，会直接干扰电阻率控制精度，造成防静电效果不稳定，影响清洗良率。

常规纯水脱气模组普遍存在压损偏高、抗污染能力弱、脱气效率不稳定等问题。很多小扬程闭环纯水回路，管路泵压力余量很小，模组压损过大就会破坏水循环流量平衡；同时超纯水系统内微量胶体、杂质容易附着在膜丝表面，随着运行时间延长，脱气效率持续衰减，造成后端 CO₂溶入量失控，电阻率漂移，防静电效果时好时坏。针对 eFLOW 防静电装置配套痛点，我司全新推出 DIC 迪爱生 SEPAREL® PF-001L-ND3 低压损纯水脱气模组，作为 PF-L 系列第三代升级型号，专为超纯水回路开发，是 eFLOW 系列超纯水防静电系统的标配核心模组，实现稳定深度脱气，保障后端电阻率精准可控。

PF-001L-ND3 采用内灌流中空纤维膜结构，超纯水在 PTFE 中空纤维膜丝内腔流动，壳程侧接入真空负压，依靠膜材的气体选择透过特性，选择性脱除水中溶解氧、游离二氧化碳，液体被膜层截留，实现连续在线脱气。相比前代 PF-001L-ND2，这款模组重新优化内部导流流道，消除流体滞留死角，在保证高脱气效率的同时大幅降低压力损失，适配低压小扬程纯水循环管路；流道结构升级之后，杂质不易沉积粘附膜丝，抗污能力显著提升，长期连续运行下脱气性能衰减更慢，减少产线停机维护频次。

产品核心参数与优势

✅ 低压损设计，适配闭环纯水回路：专为小扬程水泵开发，流道优化后压降更低，不会打破原有超纯水循环系统流量平衡，eFLOW 防静电设备配套✅ ppb 级稳定脱气：常温纯水脱气效率可达 90% 以上，稳定控制出水残氧、游离 CO₂，减少前端气体波动对后端 CO₂溶入、电阻率调节的干扰，防静电效果稳定可控✅ 高洁净无析出设计：全氟树脂接液结构，全程无金属接触部件，不会析出金属离子、颗粒杂质，满足 8 寸、12 寸晶圆厂超纯水的高洁净管控标准✅ 脱气、溶气双向两用：真空模式完成脱氧、脱碳酸；壳程通入工艺气体，也可向水体溶入 CO₂、氮气、氢气，一机兼顾脱气与功能水制备，适配多样化工艺开发✅ 支持反向冲洗维护：液体走膜丝内侧，可定期通入洁净纯水反向冲洗膜丝内壁，清除附着沉积物，有效延长模组使用寿命，正常工况寿命可达 3 年✅ 紧凑小型化结构：外形 φ60mm×145mm，体积小巧，便于集成在纯水支路、eFLOW 防静电机柜内部，立式、卧式均可安装✅ 标准接口规格：液体侧 Rc1/4 内螺纹，真空侧 φ6 软管快插接头，管路对接简单，新旧超纯水系统改造、加装都十分便捷✅ 工况适配区间：适用流量 1–72L/h，工作温度 5–40℃，最高耐压 0.3MPa，半导体超纯水循环工况匹配

适用场景

1. 半导体 eFLOW 超纯水防静电系统配套：晶圆高压喷淋清洗、槽式清洗、掩膜清洗、切割工序超纯水回路前置脱气，稳定电阻率，消除静电损伤、颗粒回吸问题

2. 晶圆厂超纯水支路循环：DIW 深度脱氧、脱二氧化碳，抑制管路氧化、微生物滋生

3. 光伏硅片、电池片高纯水清洗回路脱气，稳定清洗水质

4. 制药纯化水、注射用水深度脱气，精密冷却水、超声清洗水脱泡处理

5. 实验室高纯水工艺平台、特种功能水制备

选型区分与使用注意事项

在 DIC SEPAREL 产品矩阵中，PF-001L-ND3 定位中性纯水专用，优先搭配 eFLOW 防静电系统；和前面几款模组分工清晰：EF-AG3 微型模组用于光刻胶小流量支路、EF-020G 为含表面活性剂药液大流量脱气、PF-13F 面向强酸强碱腐蚀药液，PF-001L-ND3 专攻超纯水回路防静电配套。使用过程中，建议运行压力控制在 0.2MPa 以内，避免膜丝受损；介质温度控制在 5–40℃；前端建议设置精密过滤器，拦截水中胶体、微粒，降低膜面污染速度；模组需要配套稳定真空源，真空度稳定是脱气效果稳定的关键。该模组仅适配中性纯水体系，强酸强碱、强溶剂药液请选用 PF-13F 等 PF-F 系列耐腐蚀型号。在 eFLOW 设备选型上，3AP-B01 机型标配 PF-001L-ND3，直接替换老款 ND2 型号，无需改动设备结构，验证周期短。

供货说明

DIC 迪爱生 PF-001L-ND3 低压损纯水脱气模组现已开放样品申请，支持客户带回产线上机验证，深圳仓现货直发，交付周期短，方便产线更新 BOM 物料，稳定超纯水电阻率，从源头降低静电带来的晶圆良率损失，保障湿法清洗工序稳定量产。