新品推荐DIC迪爱生PF-001L-ND3大流量脱气模组超纯水防静电系统配套

在半导体晶圆湿法清洗制程中，超纯水是核心工艺介质。超高纯度 DI 水电阻率高、绝缘性强，在高压喷淋、晶圆冲洗、切割喷淋、槽式清洗等环节，水流高速摩擦极易持续积聚静电。静电带来的危害十分突出：一方面静电会吸附空气中微颗粒，二次附着在晶圆表面，造成颗粒不良；另一方面静电放电会直接击穿芯片精细线路、MEMS、功率器件结构，造成不可逆器件损伤。行业主流解决方案，是采用 eFLOW 超纯水防静电系统，向超纯水内精准溶入二氧化碳，调控水体电阻率，搭建稳定的静电泄放通道，抑制静电蓄积。而这套防静电系统能否稳定运行，高度依赖前端脱气单元的性能：水中溶解氧、游离二氧化碳含量一旦波动，就会直接造成后端电阻率漂移，CO₂添加量失控，防静电效果忽好忽坏，直接影响清洗良率。

市面上普通纯水脱气模组，在 eFLOW 配套回路中经常暴露出短板。很多模组流体压损偏高，而超纯水循环回路大多采用小扬程循环泵，管路压力余量很小，压损过高会打破水循环流量平衡，造成喷淋流量不稳；部分老款膜组件抗污染能力弱，超纯水内微量胶体、有机杂质容易附着在膜丝表面，随着连续运行，脱气效率持续衰减，需要频繁停机拆换维护；还有不少模组脱气上限不足，面对持续循环的纯水回路，残氧、残碳酸控制精度达不到 ppb 级，无法匹配防静电系统的精密调控需求。针对 eFLOW 防静电设备配套痛点，近期我司全新升级推出 DIC 迪爱生 SEPAREL® PF-001L-ND3 低压损大流量纯水脱气模组，属于 PF-L 系列第三代升级型号，在前代 ND2 版本基础上完成流道、膜丝排布、密封结构多重优化，专门作为超纯水防静电系统的标配脱气单元，实现稳定、长效、大流量在线脱气，保障后端电阻率精准可控。

PF-001L-ND3 采用成熟的内灌流中空纤维膜结构，超纯水在 PMP 中空纤维膜丝内腔流动，壳程侧接入真空负压，依靠膜材选择透过特性，只允许氧气、二氧化碳等气体分子穿透膜层被真空抽除，纯水被膜层截留，实现连续在线脱气。型号里的 L 代表低压损大流量版本，在同规格小型模组里面，流量上限更高，适配持续循环的纯水支路；ND3 为第三代导流升级版本，重新优化内部布水流道，消除流体滞留死角，在保障高脱气效率的前提下，大幅降低流体压降，适配小扬程闭环纯水循环管路。同时膜丝排布优化后，杂质不容易沉积粘附，抗污性能提升，长期连续生产工况下，脱气性能衰减速度更慢，减少产线停机维护频次，降低耗材综合成本。

产品核心参数与优势

✅ 同规格大流量处理能力：额定流量区间 1–80L/h，常规稳定工况 40–65L/h，满足单台 eFLOW 防静电设备配套循环纯水支路的流量需求，单支模组即可承担支路全部脱气任务，无需多支并联，简化管路布局✅ 超低压力损失设计：专为小扬程纯水循环泵开发，流道阻力低，不会破坏原有超纯水循环回路的流量平衡，是 eFLOW 3AP-B01 等防静电机型的优选配套模组✅ ppb 级深度脱气控制：常温纯水脱气高可达 93%，稳定控制出水残氧、游离二氧化碳，抑制气体波动，保障后端 CO₂溶入工艺稳定，电阻率可控，防静电效果持续稳定✅ 高洁净低析出材质：PMP 中空纤维膜 + PP 壳体 + 改性耐水解 EPDM 密封，全程无金属接触部件，不会析出金属离子、颗粒杂质，满足 8 寸、12 寸晶圆厂超纯水严苛洁净管控标准✅ 脱气、溶气双向工艺兼容：真空模式完成脱氧、脱碳酸；壳程通入 CO₂、氮气等工艺气体，也可向纯水精准溶入气体，一机兼顾脱气与功能水调制，适配工艺研发调试✅ 支持反向冲洗再生：液体走膜丝内侧，可定期通入洁净超纯水反向冲洗膜丝内壁，清除附着胶体沉积物，有效延长模组使用寿命，稳定工况下使用寿命可达 3 年✅ 紧凑集成化外形：尺寸 Φ60mm×148mm，体积小巧，方便直接集成在 eFLOW 防静电机柜内部，立式、卧式两种安装方式都支持✅ 标准化接口：液体侧 Rc1/4 内螺纹，真空侧 φ6 软管快插接头，管路对接简单，新旧超纯水防静电系统改造加装、替换老款 ND2 模组都十分便捷，无需改动设备主体结构，验证周期短✅ 稳定工况区间：适用温度 5–40℃，最高承压 0.3MPa，推荐安全运行压力≤0.2MPa，匹配半导体湿法车间超纯水循环工况

适用场景

1. 半导体 eFLOW 超纯水防静电系统配套：晶圆高压喷淋清洗、槽式清洗、掩膜清洗、晶圆切割工序超纯水回路前置脱气，稳定电阻率，降低静电损伤、颗粒回吸造成的良率损失

2. 晶圆厂超纯水循环支路：DIW 深度脱氧、脱除二氧化碳，抑制管路氧化、微生物滋生

3. 光伏硅片、电池片高纯水清洗回路脱气，稳定清洗水质，减少水迹不良

4. 精密超声清洗、制药纯化水、特种功能水制备的深度脱气处理

5. 企业研发实验室、高校微电子平台高纯水工艺验证

选型区分与使用注意事项

在 DIC SEPAREL 完整产品矩阵中，各型号分工清晰：EF-AG3 微型模组面向光刻胶小流量支路；EF-020G 是含表面活性剂药液大流量脱气模组；PF-13F 主打强酸强碱、强溶剂腐蚀药液；PF-001L-ND3 定位纯水支路、eFLOW 防静电配套低压损大流量脱气，仅适合中性纯水体系，强腐蚀药液不可选用。使用过程中，建议运行压力控制在 0.2MPa 以内，避免膜丝受压破损；介质温度保持在 5–40℃；前端建议搭配精密过滤器，拦截水中胶体、微粒，减缓膜面污染；模组需要配套稳定真空负压源，真空度稳定是脱气效果稳定的关键。替换老款 PF-001L-ND2 时，接口、安装尺寸兼容，BOM 替换简单，上机验证门槛低。如果产线需要更大流量纯水主管路脱气，可以升级 PF-004L-ND3 型号。

供货说明

本次升级款 DIC 迪爱生 PF-001L-ND3 低压损大流量纯水脱气模组现已开放样品申请，支持客户带回产线上机验证，深圳仓现货直发，交付周期短，方便产线更新 BOM 物料，稳定超纯水电阻率，从源头管控静电风险，保障湿法清洗工序连续稳定量产。