新品上市！DIC 迪爱生 EF-020G 大流量脱气模组，表面活性剂液体高效除气

在半导体湿法制程、面板清洗、工业喷墨量产产线当中，大量药液都会添加表面活性剂，用来调节液体表面张力、提升润湿铺展效果，光刻胶、显影液、清洗药液、UV 墨水、底填胶都属于这类流体。但这类低表面张力药液有一个的工艺难点：普通脱气膜很容易被药液浸润渗透，膜层快速被浸透堵塞，脱气效率短时间内断崖式下滑，无法满足产线长时间连续稳定运行的要求。尤其集中供胶、集中供液主管路属于大流量工况，很多小型脱气模组处理能力不足，只能多台并联使用，不仅占用大量安装空间，管路布局复杂，还会增加故障点、提升运维成本。针对大流量含表面活性剂流体的脱气痛点，我司全新推出 DIC 迪爱生 SEPAREL® EF-020G 大流量脱气模组，搭载 DIC 自研 SS 致密皮层中空纤维膜，专门面向含表面活性剂的药液开发，实现大流量工况下稳定长效除气，适配 24 小时不间断量产产线。

EF-020G 属于外灌流式中空纤维脱气模组，液体在中空纤维膜丝外侧流动，真空负压作用于膜丝内腔，依托膜材料的选择透过特性，只允许气体分子穿透膜层被真空抽除，药液被阻隔，实现在线连续脱气。核心的 SS 致密皮层膜材是这款产品的关键，致密表层结构可以有效抵御含表面活性剂药液的浸润渗透，避免药液渗入膜丝内部造成堵膜失效，和常规通用脱气膜相比，在光刻胶、显影液、清洗液、UV 墨水这类配方体系中，使用寿命更长、脱气性能衰减速度更慢，大幅降低产线停机更换模组的频次。

产品核心参数与优势

✅ 超大流量处理能力：适配流量区间宽广，可满足产线集中供液主管路的大批量流体处理需求，单台即可替代多台中小规格脱气模组并联方案，简化管路设计，减少备件管理压力迪爱生 D...✅ 高耐压机身设计：最高耐压 0.5MPa，远超微型脱气模组，适配大流量离心泵、增压泵后端管路，应对工业管路压力波动，运行稳定性更强✅ ppb 级深度脱气效果：稳定脱除药液内部溶解氧、二氧化碳等气体，将溶解气体控制在 ppb 级别，从源头抑制输送过程中微气泡析出，规避气泡带来的工艺不良✅ 宽工况适配区间：工作温度 2~40℃，覆盖半导体洁净车间、面板湿法产线、喷墨量产车间常规温度环境，兼容水性药液、UV 体系、部分溶剂型药液迪爱生 D...✅ 低压力损失流道结构：内部流道经过优化，大流量输送时压损可控，不会对前端供液泵、计量系统的流量稳定性造成干扰，保障整条供液回路流量均匀稳定✅ 洁净低析出设计：接液材质洁净稳定，离子析出低，不会给半导体、显示面板等高洁净等级制程引入额外颗粒、离子污染✅ 大口径标准接口：液体侧 Rc1 内螺纹、真空侧 Rc1/2 内螺纹，对接大流量工业管路简单，方便直接串联进原有集中供液主管路，改造验证便捷✅ 一机两用：除脱气之外，还可实现流体溶气调质，一条管路兼顾脱气、供气两种工艺需求，适配多样化流体工艺开发

适用场景

1. 半导体湿法产线：光刻胶集中供胶管路、显影液、晶圆清洗液、封装底填胶等含表面活性剂药液大流量在线脱气，减少涂布针孔、图形缺陷、清洗不均等良率问题

2. 显示面板行业：面板清洗药液、光刻配套药液、彩色光阻集中供液回路脱气

3. 工业喷墨量产：UV 墨水、水性墨水、功能性墨水集中供墨管路脱气，解决断墨、斜喷、喷头堵塞问题

4. 其他精密流体制程：含表面活性剂的特种电子药液、循环工艺流体、大型水处理系统脱气处理

选型区分与使用注意事项

在 DIC SEPAREL 产品矩阵中，EF-020G 定位大流量主管路脱气；之前上新的 EF-AG3 属于微型模组，用于设备支路、单点喷胶、小样研发这类小流量场景，两者可以搭配使用，完成产线 “主管路 + 机台支路" 分级脱气方案。使用过程中，系统运行压力不可超过 0.5MPa，避免中空纤维膜丝受压破损；介质温度控制在 2~40℃；建议在模组前端加装前置过滤器，拦截药液内胶渣、杂质，减少污染物附着膜面，延长模组使用寿命。EF-020G 需要配套稳定的真空负压源，负压稳定是保障脱气效果的核心；同时仅限干式脱气工况，不适合强强酸强碱、强侵蚀性纯溶剂体系，这类工况可选用 DIC PF-F 全氟系列脱气模组。

供货说明

本次新品 DIC 迪爱生 EF-020G 大流量脱气模组现已开放样品申请，支持客户带回产线上机验证，深圳仓现货直发，交付周期短，方便产线更新 BOM 物料，解决大流量含表面活性剂药液的气泡困扰，保障湿法制程连续稳定生产，提升产品良率。