库存直发 FLUORO福乐 C002-D-Y-161-99 导电真空吸笔 加长杆晶圆拾取
更新时间：2026-10-28
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在半导体12英寸产线的日常运转中，因为一根吸笔断裂或吸嘴备件不齐而导致整条线停线等待的情况屡见不鲜。为了保障产线的连续运作，近期我司新推出升级了FLUORO福乐C002-D-Y-161-99 导电真空吸笔总成目前保持库存直发状态，无需漫长交期，下单即刻发货。该总成出厂即完成匹配，将161mm加长杆、Y型固定接头与99-CP 12寸专用导电PEEK吸嘴集成为一体，开箱即可投入12英寸晶圆的精密拾取作业。
一、型号释义
| 编码 | 含义 |
|---|---|
| C002 | C系列导电防静电款，NO常开阀体，接通真空即吸附，按下按钮断气释放 |
| D | 标准直型本体，D型直插硬管接头，管路连接稳固 |
| Y | Y型固定式吸嘴底座，笔身与吸嘴直线刚性连接，无旋转间隙 |
| 161 | 161mm加长杆规格，适配深腔体、晶圆盒深处作业 |
| 99 | 出厂预装99-CP导电PEEK加宽Y型吸嘴，专为12英寸晶圆设计 |
二、核心技术解析
① 99-CP加宽Y型吸嘴，12寸整片受力均衡
12英寸晶圆面积大、价值高，吸附时受力不均极易导致隐裂。99-CP吸嘴采用加宽Y型多点槽面吸附结构，接触面经光学镜面抛光。多点对称支撑让晶圆在吸附过程中受力均匀，有效降低大尺寸晶圆变形和崩边风险。材质为导电PEEK，兼具防静电与耐磨损特性，长期使用不掉屑。
② 161mm加长杆，安全深入腔体取放
161mm的加长杆设计，使吸笔能够探入设备机台、探针台或晶圆载具深处完成取放，无需拆解设备或冒险将手伸入危险区域，从源头降低了磕碰晶圆边缘和引入微颗粒污染的风险。
③ NO常开阀体 + Y型固定接头
NO（Normally Open）常开型阀体逻辑为“常态吸附、按压断气释放"：接通真空后即保持吸附状态，轻触晶圆背面即可完成拾取；放下工件时按下顶端按钮切断真空，松开按钮吸力自动恢复。这一逻辑适合产线高频连续取放，无需持续按压，手部不易疲劳。Y型固定式接头提供刚性直线连接，无万向节的旋转间隙，负压损耗更小，垂直取放时不偏移。
④ 全链路ESD防静电
笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA），吸嘴为导电PEEK，两者构成连续的静电泄放通路，表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω区间。该阻值可快速疏导作业摩擦产生的静电荷，降低静电击穿晶圆或镀膜层的风险，满足Class10～1000洁净室使用标准。
三、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| 品牌 | FLUORO福乐 |
| 型号 | C002-D-Y-161-99 |
| 系列 | C系列（导电型） |
| 阀体种类 | NO（常开型，接通真空即吸附，按键释放） |
| 接头类型 | D型直插硬管 / Y型固定式吸嘴底座 |
| 加长杆总长 | 161mm |
| 笔身材质 | 碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA） |
| 吸嘴材质 | 导电PEEK（99-CP，加宽Y型） |
| 表面电阻率 | 10⁶～10⁸Ω |
| 适用晶圆尺寸 | 12英寸（300mm）整片硅晶圆 |
| 适配软管 | Φ3×5 / Φ4×6 |
| 适配真空泵 | FV-60-240（需另购） |
| 使用环境 | Class10～1000洁净室，干式工况 |
| 产地 | 日本 |
四、配套方案建议
负压气源：建议搭配FLUORO FV-60-240无油隔膜真空泵，为12寸整片拾取提供充足吸附力。
管路：推荐搭配851-L大流量防静电螺旋气管或852防静电直管，减少沿程压降。
底座：可搭配659常开型吸笔底座，吸笔放回时自动断气，降低泵体空载损耗。
五、适用行业与场景
12英寸半导体制造：来料检验、AOI光学检测、贴膜、研磨划片前后取样、封测对位等连续转运工位
化合物半导体：碳化硅基板、氮化镓晶片的防静电取放
光电与先进封装：大尺寸光学玻璃基板、精密陶瓷基板的拾取与转运
六、库存直发信息
FLUORO福乐C002-D-Y-161-99防静电真空吸笔总成目前库存直发，下单即可安排发货。我司同时备有配套的FV-60-240无油隔膜真空泵、替换用99-CP导电PEEK吸嘴、防静电真空软管及659台式吸笔座，满足产线紧急备件与批量采购需求。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队
