更新时间:2026-10-23
浏览次数:5
近期我司新推出升级了这款 8 寸无尘晶片夹,适配半导体 8 英寸硅片、碳化硅衬底、蓝宝石晶片的无尘转运、花篮上下料、外观抽检、腔体应急取片等干式作业场景。常规夹持工具夹持力度不稳定,长时间作业易手抖,容易造成晶圆崩边、颗粒污染,影响良率。日本 FLUORO 福乐 M100-200L 8 寸杠杆自锁晶片夹,本色 PEEK 一体成型,两点外缘夹持结构,自带棘轮锁止机构,纯机械结构无需气源,专为 8 英寸晶圆洁净搬运打造,深圳仓现货直发,快速交付。
M100-200L 搭载 L 系列杠杆棘轮锁止结构,轻捏手柄即可夹紧晶圆,到位后自动锁止,无需持续用力握持,只需要承载晶圆自重即可完成工位转运,大幅减轻手部疲劳,避免手抖带来的晶圆磕碰、滑落风险。锁止机构输出恒定夹持力,不受操作人员手劲大小差异影响,夹持一致性好,既不会夹得过松发生脱落,也不会用力过猛压伤薄晶圆。解锁简单,拨动释放拨杆即可松开晶片,取放动作干脆顺畅,适合大批量连续抽检、多工位流转作业。整机全长 180mm,自重 72g,握持手感均衡,适配 8 寸大晶圆的搬运需求。
整机采用本色 PEEK 聚醚醚酮一体加工成型,无金属零件、无粘接胶水,从源头杜绝金属离子析出、胶屑脱落污染晶圆。材质耐常规洁净溶剂,连续耐温可达 130℃,支持异丙醇擦拭、洁净清洗,可反复清洗复用,适配 Class100~1000 级无尘车间,满足半导体前道、封装测试等高洁净制程要求。
备注:此款为洁净非防静电款,有 ESD 管控需求可选用同规格 E100-200L 导电 PEEK 防静电版本。
采用两点外缘夹持方案,卡爪仅接触晶圆侧边边缘,避开晶圆正面光刻图形、镀膜层、有源芯片区域。夹持端头经过光学镜面抛光,表面光滑无毛刺,降低刮伤、崩边、颗粒产生概率。内置限位挡块,限制晶圆伸入深度,防止晶圆向前滑移、正面接触夹爪造成污染,新手也可稳定规范操作。夹持开口与卡爪弧度精准匹配 200mm(8 英寸)晶圆外缘,贴合稳固。
不需要真空泵、真空管路、电源配套,开箱即可投入使用,部署简单灵活。适合常规工位取片,也可以作为真空吸笔、真空系统故障时的应急取片工具,快速取出腔体内部晶圆,保障产线停机处置效率。适配干式工况,不可浸入强腐蚀药液。
晶圆制造:8 英寸硅片工序转运、晶圆花篮上下料、扩散、刻蚀工位取样
封测工序:整片晶圆外观抽检、电性测试、减薄晶圆取放
化合物半导体:碳化硅、氮化镓衬底、蓝宝石晶片样品转移
设备应急:探针台、镀膜机腔体内部晶圆应急取出、设备维护取片
仅限干式无尘环境使用,禁止浸入强腐蚀性药液,避免材质老化。
清洁使用无尘布配合异丙醇擦拭,清洗时保护夹持端头,避免磕碰产生划痕毛刺。
轻捏轻放,禁止暴力掰动夹爪,防止锁止机构变形、夹持失效。
定期检查夹持端面磨损、锁止松紧情况,出现磨损、夹持不稳及时更换。
闲置存放于洁净密封袋内,避免积尘,取出可直接投入无尘车间使用。
深圳仓常备现货,现货直发,快速响应产线补库、项目急用、样品测试采购需求。
上一篇
没有了