告别静电损伤 FLUORO福乐 C002-D-X-100 防静电真空吸笔全新发布

在半导体晶圆搬运、探针台电性测试、芯片封装转运等精密制程中，手动取放环节的静电防控与无损操作是保障器件良率的关键细节。高绝缘性的晶圆与基板在取放过程中易产生静电积累，轻则吸附环境微颗粒造成表面二次污染，重则引发静电放电击穿微细线路，造成不可逆的器件损伤；同时硬质接触与操作局限还易造成晶片崩边、功能镀膜刮伤等外观缺陷。传统手动拾取工具普遍存在静电泄放路径不连续、长时间作业疲劳度高、狭小腔体适配性差等短板，难以适配先进制程的无尘与防静电双重要求。日本 FLUORO 福乐全新推出 C002-D-X-100 防静电真空吸笔，基于 C 系列导电型产品架构，搭载 X 型万向旋转接头与 100mm 加长金属导杆，以全域防静电通路、常开阀体轻量化设计，为半导体无尘制程提供高效可靠的手动取放解决方案。

一、全域防静电通路设计，从根源规避 ESD 损伤

静电防护的核心在于构建连续、平缓的电荷泄放路径，避免局部电荷积聚与瞬间放电冲击。C002-D-X-100 采用全链路防静电架构，笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂，吸嘴选用镜面级导电 PEEK 材质，从握持端到工件接触端形成完整的静电泄放通路，整笔表面电阻率稳定控制在 10⁶～10⁸Ω 的防静电区间，可平缓耗散接触过程中产生的静电荷，杜绝高压静电放电对晶圆与芯片的击穿风险。

整机无外露金属部件，接触工件端面经过精密抛光处理，取放过程不会刮伤晶圆镀膜与器件表面，同时避免金属离子析出造成的制程污染，契合半导体制程的污染管控标准。搭配防静电手腕带与防静电工作台使用时，可形成 “人体 - 工具 - 工件 - 台面" 的完整静电防护闭环，将取放环节的静电风险降至低。

二、NO 常开阀体架构，适配高频连续作业

针对产线高频次取放的作业特性，C002-D-X-100 采用 NO 常开型阀体结构，接通真空源后设备常态保持吸附状态，仅需轻按按键即可释放工件。相较于常闭型吸笔需持续按住按键维持吸附的操作逻辑，常开架构可大幅减轻操作人员的手部负荷，长时间手持转运晶圆、反复上下料作业时不易产生疲劳，显著提升流水线工位的操作效率与舒适度。

内部阀芯采用高耐磨氟树脂材质，阀体内壁经过镜面抛光处理，既保障了百万次按压后的气密性稳定性，也最大限度降低了摩擦颗粒的产生，适配洁净室低发尘的运行要求。真空通断响应干脆利落，吸附与释放动作无延迟，可精准控制工件取放位置，适配高精度对位的制程场景。

三、X 型万向旋转接头 + 100mm 加长导杆，复杂场景灵活适配

制程工位的空间局限性，是手动取放工具的核心适配难点。C002-D-X-100 在管路连接端配置 X 型万向旋转接头，可实现 360° 自由旋转，笔身握持角度不受真空软管拉扯束缚，操作人员可根据工位姿态灵活调整持握方向，避免管路拖拽造成的操作偏差与工件磕碰风险。

搭配 100mm 加长金属导杆，有效延伸操作距离，既能够深入腔体深处、夹具夹缝等狭小空间完成取放作业，也可减少操作人员手部靠近制程区域的频次，降低人体发尘与污染物引入的概率。加长导杆同样纳入整机防静电通路，全程无静电断点，确保延伸作业场景下的静电防护性能不衰减。

四、洁净低发尘与模块化设计，契合无尘制程标准

针对 Class10-1000 级洁净室的运行要求，C002-D-X-100 从结构与材质两方面控制颗粒释放。阀体内部流道采用平滑镜面设计，减少气流紊流与摩擦起尘；整机接触工件部件均采用洁净级工程塑料，无易掉屑、易老化材质，长期运行仍可维持洁净性能稳定。

产品采用模块化快拆结构，吸嘴、导杆均为可独立更换的耗材部件，出现磨损或污染时无需整支更换，可有效降低后续运维成本。本体重量仅约 26g，轻量化机身搭配人体工学握持结构，长时间手持作业手腕不易酸胀。设备适配 Φ3×5、Φ4×6 两种规格真空软管，外接真空发生器或无油隔膜真空泵即可投用，负压调节范围 0~-80kPa，可稳定抓取 0.1g~500g 的工件，覆盖小尺寸芯片到中小型晶圆的取放需求。

五、多制程场景覆盖，半导体精密工序通用方案

C002-D-X-100 防静电真空吸笔适用于各类干式无尘精密取放场景，核心应用覆盖半导体全流程关键工位：

• 晶圆制造环节：2~8 英寸硅晶圆手动搬运、探针台电性测试取放、晶圆研磨贴膜、划片前后工序转运

• 封装测试环节：裸芯片拾取摆放、封装基板对位、射频器件检测转移

• 精密电子与光学：碳化硅基板、光学玻璃薄片、陶瓷精密件的实验室检测与品质复检

全程非接触式吸附取放，避免手指直接接触工件造成的油脂、汗液与颗粒污染，是洁净车间手动精密搬运的标准化工位工具。

六、使用与运维规范

为保障设备防静电性能与使用寿命，使用与运维过程需遵循以下规范：

1. 配套气源需经过过滤干燥处理，确保无油、无水、无颗粒杂质，避免污染阀体内腔与吸嘴流道，影响气密性与洁净度。

2. 作业时需配合佩戴防静电手腕带，对接防静电接地系统，形成完整静电泄放回路，充分发挥设备防静电效能。

3. 定期检测笔身与吸嘴的表面电阻率，确认防静电性能处于合规区间；出现性能衰减时及时排查部件损耗情况。

4. 吸嘴为易耗部件，出现端面磨损、污染残留时需及时更换，避免刮伤工件表面或降低吸附稳定性。

5. 严禁超出额定负压范围使用设备，防止造成工件吸附变形、吸嘴加速老化或阀体密封失效。

FLUORO 福乐 C002-D-X-100 防静电真空吸笔，以全路径防静电设计、常开阀体高效操作、万向加长杆灵活适配为核心优势，兼顾静电防护、无损取放与洁净兼容三大核心需求，是半导体无尘车间手动精密取放的理想升级方案，可有效降低制程中的静电损伤与颗粒污染风险，提升作业效率与产品良率。