FLUORO福乐 BC-K6 6英寸非接触伯努利吸盘 晶圆平铺拍摄防划伤吸笔

近期我司新推出升级了现货 FLUORO福乐 BC-K6 属于 BC 系列伯努利卡盘中的 6 英寸平置标准型号，利用伯努利效应在卡盘与晶圆之间形成高速气膜，让晶圆悬浮托举，实现零接触的平铺固定。适配 6 英寸（150mm）常规厚度晶圆。

伯努利悬浮的物理逻辑：用气膜“托住"而非“吸住"

BC-K6 的核心机制与常规真空吸笔的“负压抽吸"截然不同。压缩空气从卡盘表面的微孔高速喷出，在卡盘与晶圆之间的狭窄间隙中形成高速气流层。根据伯努利原理，流速越高的区域压强越低，这个低压区对晶圆产生向上的“拉拽"力；同时，气流到达晶圆表面后形成的滞滞压力（气垫效应）又提供向下的正压支撑。两种力在特定间隙下达到动态平衡，晶圆便被稳定悬浮在卡盘下方。

这个机制在平铺拍摄场景中的工程价值非常直接：晶圆被气流均匀托举，中心区域不与任何固体表面接触，从根本上规避了划伤、压痕和接触污染的风险。均布的气流层对轻微翘曲的晶圆具有一定的展平作用，有利于保证拍摄焦平面的平整度。

结构拆解：导电MC尼龙本体与可视化导向

BC-K6 的工程参数围绕 6 英寸平置工况做了针对性配置。

本体与防静电：卡盘本体采用导电性 MC 尼龙树脂，整机质量约 120 克。导电材质提供了静电泄放的基础，体积电阻在 10⁶～10⁸Ω 区间，配合防静电管路，可降低拍摄过程中静电吸附微尘干扰成像的风险。

可视化导向环：卡盘前端设有防静电聚碳酸酯（PC）导向环，操作者可以通过透明视窗直接确认晶圆是否置入定位区域以及悬浮气膜是否建立。导向环内侧的导向销带有缓和锥度，与晶圆边缘形成极小面积的点接触，仅用于初始限位和防止旋转，晶圆主体区域始终保持非接触悬浮。

操作角度：BC-K6 的主体提供 20° / 45° / 90° 三种固定角度可选（订货时选定），适配不同工作台的光轴姿态。

气源配置与操作边界：不能用真空泵

选型时需特别注意，BC-K6 的驱动力是正压，而非真空。

必须使用洁净压缩空气：BC-K6 不能连接 FV 系列真空泵，必须外接空压机、储气罐和调压阀组成的正压气源。工作供气压力为 0.1～0.2 MPa，推荐配置 ≥9L 储气罐 + 调压阀 + 精密过滤器，气源必须除油除水。气流的波动会直接导致悬浮间隙变化，在拍摄中表现为晶圆轻微上下浮动，影响对焦一致性。

介质与厚度边界：BC-K6 用于干态晶圆的平铺固定，不可接触水汽、药液或腐蚀性化学流体。标准型 BC-K6 适配常规厚度晶圆；对于 300μm 以下的超薄片，同系列另有 BC-K6-300 超薄专用型号（质量约 170g），其悬浮间隙和气流量经过专门匹配。

安全提示：伯努利卡盘在正压下使用，出于安全考虑，建议将按钮或操作面朝下布置，避免气流意外直吹操作人员。

选型决策与系统配套

BC-K6 解决的是 6 英寸晶圆在平置工位上的零接触固定。如果拍摄或检测对象是 2/3/4/5/8 英寸晶圆，BC-K2/BC-K3/BC-K4/BC-K5/BC-K8 在同一平置系列中提供了对应规格。BC 系列采用一个手柄本体更换导向环的设计思路，同一本体可通过更换导向环适配不同尺寸的晶圆，卡盘主体无需整体更换。

在系统层面，BC-K6 需要配套洁净干燥的压缩空气源（≥9L 储气罐 + 调压阀 + 精密过滤器），以及标配的 1.5m 导电气管（Φ6×4）。如果工位空间紧凑，卡盘可以安装在小型手动操作臂或检测载台上，由脚踏阀或手动按钮控制气路通断。

选型咨询： 欢迎留言或私信提供您的晶圆尺寸（2/3/4/5/6/8英寸）、厚度（常规/300μm以下超薄）、拍摄或检测工位的安装姿态及气源配置，获取 BC 系列型号匹配、气源配套及防静电管路方案与报价。