【新品】FLUORO福乐 C006-D-X-106 真空吸笔 高洁净精密吸取
更新时间：2026-10-16
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近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C006-D-X-106 防静电真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中面向高洁净精密吸取场景的升级款规格，采用碳纤维增强导电尼龙笔身与导电PEEK吸嘴，配备X型万向旋转接头与106加长金属导杆。目前原装现货在库，含吸笔主机及106金属导杆，下单即可安排发货。
一、四十余年晶圆拾取经验，高洁净精密搬运品牌
FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），总部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有超过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。
二、C006-D-X-106：高洁净精密吸取升级款
C006-D-X-106是FLUORO C系列导电型真空吸笔中面向高洁净度与精密吸取需求开发的升级款规格，专为半导体小尺寸晶圆、精密芯片、MEMS器件等对洁净度和静电防护有严苛要求的干式无尘场景开发。
型号释义：
| 编码 | 含义 |
|---|---|
| C006 | C系列导电防静电高洁净款，阀体开闭逻辑升级，适配精细吸取作业 |
| D | 笔身本体，标准直型设计，手动真空控制阀 |
| X | X型万向旋转接头，轴相对轴线最大可弯曲40度，腔体内灵活取放 |
| 106 | 106加长金属导杆规格，用于设备腔体内部取料作业 |
三、核心技术解析：高洁净设计 + 全域防静电 + X万向接头
① 高洁净设计，适配Class100~1000洁净室。 C006-D-X-106沿用了C系列标志性的高洁净结构：笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA）制成，内壁经过精细抛光处理，不易附着粉尘颗粒；阀芯采用氟树脂密封结构，通过特殊成型方法覆盖碳纤维，在保证气密性的同时实现轻快的阀门开闭动作。整机无尖锐外露金属件，作业过程不会对工件表面引入颗粒污染，满足Class100~1000洁净车间使用要求。
② 全域防静电防护，保障晶圆良率。 在半导体制造中，静电放电（ESD）是导致晶圆良率损失的隐形杀手。C006-D-X-106通过碳纤维增强导电尼龙笔身与导电PEEK吸嘴构成完整的静电泄放通路，表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，有效消除静电积聚，降低因静电击穿导致的良率损失。该电阻率区间符合ESD管控标准，适配百级、千级无尘防静电车间使用。
③ 导电PEEK吸嘴，镜面抛光不划伤。 吸嘴采用耐化学品、耐热、强韧的PEEK树脂素材，经机械加工后进行热处理和镜面加工，长期使用仍能维持稳定性能。通过添加碳纳米管，在低填料含量下实现了高水平的导电性管理，拾取晶圆时不会产生划痕或碎屑。吸嘴为独立消耗件，磨损后仅需更换前端耗材，无需更换整支吸笔。
④ X型万向旋转接头，腔体内灵活对位。 C006-D-X-106采用X型球状万向旋转接头，轴相对轴线最大可弯曲40度，软管连接处可360°自由转动。在设备腔体深处、夹具夹缝位置取拿晶片时操作更加灵活顺手，倾斜工位也可以垂直贴合工件表面，降低碎片风险。
⑤ 106加长金属导杆，深入腔体取放。 106规格的加长金属导杆专为设备腔体内部取料作业设计。可深入设备腔体、载具、治具内部进行晶圆取放作业，无需拆解设备，特别适合机台内部、探针台等空间受限工位的精密搬运。
⑥ 模块化可更换吸嘴，一支笔覆盖多尺寸工件。 吸嘴采用快拆结构，兼容FLUORO C系列全系配套吸嘴，可快速更换26-0.5、100、103、106、161等多款不同孔径吸嘴，覆盖小型裸芯片、mini晶片、光学镜片、陶瓷薄片等多种尺寸工件，一套吸笔适配多道制程工序。
四、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| 品牌 | FLUORO福乐 |
| 型号 | C006-D-X-106 |
| 系列 | C系列（导电型） |
| 阀体种类 | NO常开型 |
| 连接种类 | X型360°万向旋转接头 |
| 笔身材质 | 碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA） |
| 吸嘴材质 | 导电PEEK（聚醚醚酮），镜面抛光处理 |
| 表面电阻率 | 10⁶～10⁸Ω |
| 工作负压 | 0～-80kPa可调 |
| 加长金属导杆 | 106规格 |
| 整机重量 | 约23～28g |
| 适配管径 | Φ3×5 / Φ4×6 |
| 使用环境 | Class100～1000洁净室，仅限干式工况 |
| 产地 | 日本 |
五、C系列选型对比
| 型号 | 阀门逻辑 | 接头类型 | 核心差异 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| C001 | NC常闭型 | X（万向） | 按住吸附，松开释放 | 短时间频繁取放 |
| C002 | NO常开型 | X（万向） | 接通真空即吸附，按下按钮释放 | 连续搬运，快速取放 |
| C003 | NO+SW | Y/X | 常开吸附+独立自锁开关 | 长时间持料转运、静置校准 |
| C006 | NO常开型 | X（万向） | 高洁净精密吸取升级款 | 精密芯片、MEMS器件精细取放 |
六、配套真空泵方案
FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为C006-D-X-106吸笔专用负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。
| 型号 | 最大负压 | 适配吸笔 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| FV-10-240 | -80kPa | C006/F002 | 小芯片、4～6寸晶圆 |
| FV-30-240 | -84kPa | C006/F002 | 4～8寸晶圆主流选型 |
| FV-60-240 | -88kPa | C006/F002 | 8～12寸大重量/翘曲晶圆 |
整机无油设计，杜绝油污污染晶圆，进气口和排气口均内置HEPA过滤器。
七、适用行业与场景
半导体精密吸取：小尺寸硅晶圆、MEMS器件、精密芯片的手动取放
半导体制造：探针台测试上下料、研磨划片工序取样、设备腔体内部取放
光学行业：镀膜基板、光学滤光片无尘搬运，保护表面镀膜层
化合物半导体：碳化硅衬底、氮化镓晶片基板的防静电取放
Mini-LED/面板：薄型陶瓷基板、mini晶片的手动拾取
科研实验室：薄脆陶瓷片、光电薄片样品的精密转移取样
八、现货库存信息
FLUORO福乐 C006-D-X-106 防静电真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机及106金属导杆，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（26-0.5、100、103、106、161等规格）、替换106金属导杆、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。
