原装现货库存充足FLUORO福乐 C003-D-Y-161 真空吸笔 自锁阀体防静电

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C003-D-Y-161 防静电自锁真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中搭载NO+SW自锁阀体的升级款规格，采用碳纤维增强导电尼龙笔身与导电PEEK吸嘴，配备161mm加长杆与Y型直插固定接头，专为半导体无尘车间中12英寸晶圆长距离转运、静置校准等需要长时间保持吸附状态的工况开发。目前原装现货在库，下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验，半导体精密搬运品牌

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），总部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有超过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。

二、C003-D-Y-161：自锁阀体 + 161加长杆 + Y型直插接头

C003-D-Y-161是FLUORO C系列导电型真空吸笔中专为长时间持料工况设计的自锁款规格，适合晶圆长距离转运、静置观测、校准对位等需要持续保持吸附状态的作业场景。

型号释义：

三、核心技术解析：自锁保压 + 全域防静电 + 161mm加长杆

① NO+SW自锁阀体，拨动开关锁止真空。

C003-D-Y-161的核心差异在于NO+SW（常开+机械锁扣）自锁阀体。在NO常开基础上增加了一个独立物理遮断闩锁开关：拾取工件后拨动锁扣，阀芯位置被锁定，真空通路保持导通，无需持续按压即可维持吸附状态。释放工件时，拨动开关解锁或按下按钮破真空即可完成卸料。

这一设计直接解决了一个长期存在的痛点：长时间持料作业中，操作人员不需要一直按住按键来维持吸力。在晶圆长距离转运、静置观测、校准对位等工序中，操作人员双手得以解放，有效缓解长时间作业的手部疲劳。同时，临时离开工位时可直接切断气路，工件保持吸附，不用插拔软管，避免真空源泄压。

② 全域防静电防护，保障晶圆良率。

C003-D-Y-161笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA） 制成，吸嘴采用导电PEEK材质，两者构成完整的静电泄放通路。表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，有效消除静电积聚，降低因静电击穿导致的良率损失。整机无尖锐外露金属件，作业过程避免晶片镀膜刮伤，适配百级、千级无尘防静电车间使用。

③ 161mm加长杆，深入腔体取放。

161mm加长杆设计使吸笔可深入设备腔体、载具、治具内部进行晶圆取放作业，无需拆解设备，特别适合机台内部、探针台等空间受限工位的精密搬运。加长设计在保持轻量化笔身的同时，确保操作人员无需将手伸入设备深处即可完成取放，有效降低污染风险。

④ Y型直插固定接头，管路气密性更优。

C003-D-Y-161采用Y型直插固定接头，笔身与吸嘴直线刚性连接，无活动万向关节。与X型万向接头相比，Y型直插结构无旋转间隙，负压损耗更小，管路直进直出，气密性更优，适合操作姿态相对固定的工位，以及需要垂直对位取放的大尺寸晶圆作业。

⑤ 氟树脂密封阀芯，高频按压气密性不衰减。

内部阀芯采用氟树脂密封结构，阀体内壁经镜面抛光处理，高频次反复按压依旧气密性稳定，不易漏气失效。密封件耐受弱酸弱碱与有机溶剂侵蚀，在洁净环境中长期连续使用不易老化。

⑥ D型大流量阀体，吸附更稳。

C003-D中的“D"代表大流量阀体设计，通径大于C002基础款，真空流量更高，适合硅片、基板、大尺寸薄片工件，避免大面积工件吸附打滑脱落。

⑦ 模块化可更换设计，降低运维成本。

吸嘴为独立消耗件，采用快拆结构，可快速更换94-CP、95-CP、96-CP、97-CP、98-CP、99-CP等全系列原厂导电PEEK吸嘴，一套吸笔适配2至12英寸全规格晶圆搬运，大幅降低企业耗材采购成本。

四、主要技术规格

五、C系列选型对比

C003相比C002多一个独立自锁开关，适合需要长时间吸附拿持工件的工况；相比C001的短时间频繁取放逻辑，C003更适合晶圆长距离转运、样品对位校准等长时间作业场景。

六、配套真空泵方案

FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为C003-D-Y-161吸笔专用负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。

整机无油设计，杜绝油污污染晶圆，进气口和排气口均内置HEPA过滤器。

七、适用行业与场景

• 半导体制造：12英寸硅晶圆长距离转运、探针检测、划片、贴膜、解键合、封装转运

• 晶圆校准对位：静置观测、AOI光学检测、探针台对位校准等需要长时间保持吸附状态的工序

• 化合物半导体：碳化硅、氮化镓晶片基板取放

• 光电行业：光学基板、滤光片、大尺寸光学元件搬运

• Mini-LED/面板：面板、薄型陶瓷基板手动拾取

• 无尘实验室：机台腔体内部样品操作、薄片易碎样品手动转移

八、现货库存信息

FLUORO福乐 C003-D-Y-161 防静电自锁真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机及标配吸嘴，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（94/95/96/97/98/99-CP系列）、替换金属杆、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。