【新品】FLUORO福乐 FV-10-240 真空泵 小型工位真空源
更新时间：2026-10-16
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近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）FV-10-240 无油隔膜真空泵。该产品为FV系列中体积最小、重量最轻的入门级微型真空泵型号，采用无油隔膜结构与电磁驱动设计，适配国内AC220-240V市电直接使用，专为FLUORO C系列、F系列真空吸笔提供洁净负压动力，面向半导体微小元件拾取、4英寸以下晶圆搬运、实验室精密抽滤、光学镜片转移等场景。目前原装现货在库，下单即可安排发货。
一、小型工位负压源选型：FV-10-240的定位
FLUORO FV系列目前包含FV-10、FV-30、FV-60、FV-XP四个主力型号，覆盖从微型芯片到12英寸整片晶圆的全场景负压需求。FV-10-240在系列中的定位非常清晰：面向微小工件拾取和实验室桌面级应用的最小规格负压源。
| 型号 | 极限负压 | 功耗 | 适配晶圆 | 重量 | 定位 |
|---|---|---|---|---|---|
| FV-10-240 | -3～-14kPa可调 | 5.0W | 4寸以下 | 600g | 入门微型，微小元件专用 |
| FV-30-240 | -50kPa | 5.0W | 2-6寸 | 800g | 中小工位经济型 |
| FV-60-240 | -85kPa | 10.0W | 6-8寸 | 1250g | 产线高频主力 |
| FV-XP | -90kPa | 12W | 8-12寸 | — | 大尺寸多工位 |
FV-10-240的极限吸入压力为-3～-14kPa，连续无级可调，气流量2.8L/min，整机功耗仅5.0W，外形尺寸155×72×61mm，重量仅600g。与FV-30-240和FV-60-240采用多级减压结构不同，FV-10-240为单级隔膜结构，没有内置HEPA过滤器，排气端配置毛毡过滤棉阻挡粉尘外泄。这款泵的定位是：在不需要高负压大流量的微小工件拾取场景中，用最小的体积和功耗完成洁净负压输出。
二、FV-10-240的四个核心价值
① 桌面级微型机身，即插即用不占工位。 FV-10-240整机重量仅600g，相当于一部手机的重量，可轻松放置在显微镜台、探针台旁边，也可嵌入设备内部使用。对于空间紧凑的洁净工作台、通风橱等场景，FV-10-240不占用额外工位空间。它不需要空压机、储气罐，插上220V电源即可工作，即插即用。
② 无油隔膜结构，从源头杜绝油雾污染。 传统油润滑旋片泵在运行过程中会产生油雾挥发，污染实验环境和晶圆表面。FV-10-240采用无油隔膜结构，整机无润滑油，从根源上杜绝了油气污染的风险。搭配FLUORO真空吸笔使用时，从泵体到吸笔的整个负压通路中不会引入任何油污，保障微小工件的洁净度。
③ 电磁驱动低磨损，理论耐久超9000小时。 FV-10-240采用电磁驱动方式，通过电磁线圈直接驱动隔膜往复运动，无需齿轮、连杆等传动机构，机械磨损极少，理论耐久时间超过9000小时。日常维护仅需定期更换排气过滤棉，几乎免维护。
④ 负压无级可调，保护薄脆工件。 FV-10-240机身配备旋钮式负压调节机构，可连续无级调整吸力大小。拾取薄芯片、易碎光学元件时调低负压，避免吸伤工件；拾取稍重工件时调高吸力，适配多种尺寸元器件。这一特性使FV-10-240在微小工件拾取中比固定负压泵更灵活。
三、FV-10-240产线工位完整配置方案
一台FV-10-240要投入工位使用，需要配套以下几类组件，形成完整的拾取回路：
| 配置层级 | 组件 | 型号/规格 | 作用 |
|---|---|---|---|
| 负压源 | 无油隔膜真空泵 | FV-10-240 | 产生-3～-14kPa可调洁净负压 |
| 管路 | 导电PVC真空软管 | 852系列（Φ3×5） | 负压传输，出厂标配1m Φ3×5软管 |
| 管路 | 抗静电螺旋软管 | 851-L系列 | 走线灵活，随操作人员手部自由活动 |
| 接地 | 静电消散接地装置 | 858 | 连接泵体接地端口，构建完整ESD释放通路 |
| 终端 | 真空吸笔 | C001/C002/C003系列 | 微小元件拾取执行端 |
| 耗材 | 替换吸嘴 | 26-0.5微型吸嘴、各规格PEEK吸嘴 | 匹配不同尺寸工件 |
整套推荐搭配方案：FV-10-240（真空泵）+ C002（常开吸笔阀体）+ 26-0.5（Φ0.5微型吸嘴），构成微小芯片完整真空拾取工具套装。
管路选型要点：FV-10-240的接续口适配Φ3×5mm和Φ4×6mm规格的真空软管，出厂标配Φ3×5软管1m。工位配置推荐使用FLUORO 852系列导电PVC真空软管，外层透明PVC、中间SUS不锈钢丝导电层、两端预装导电尼龙原厂接头，出厂自带接头无需额外转接。
接地配置要点：FV-10-240的外壳采用防静电尼龙材质，但仅靠泵体外壳不足以构成完整的静电泄放通路。工位配置建议加装FLUORO 858静电消散接地装置，将泵体接地端口、导电软管和吸笔连接成闭环的ESD保护链路。
四、FV-10-240 与 FV-30-240 的选型边界
FV-10-240和FV-30-240是FV系列中用户最常拿来对比的两个型号，选型时需根据实际工况判断：
| 选型维度 | FV-10-240 | FV-30-240 |
|---|---|---|
| 极限负压 | -3～-14kPa可调 | -50kPa |
| 流量 | 2.8L/min | 2.5L/min |
| 适配晶圆 | 4英寸以下 | 2-6英寸 |
| 功耗 | 5.0W | 5.0W |
| 重量 | 600g | 800g |
| 过滤系统 | 排气端毛毡过滤棉 | 进排气双向HEPA过滤器 |
| 适用场景 | 微小芯片、光学镜片、实验室薄片 | 4-6寸晶圆、光学基板、批量拾取 |
选择FV-10-240的场景：半导体封装测试中的微小die晶粒、Mini-LED芯片、光学镜片、滤光片等微型元件的拾取；科研实验室显微镜下的微小样品、薄片基板无尘取放；电子组装中的SMD微小元器件、薄型工件手工装配；对体积和功耗有严格限制、仅需低负压即可完成拾取的工位。
选择FV-30-240的场景：4英寸、5英寸、6英寸晶圆的手动拾取；需要双向HEPA过滤的洁净度要求更高的工位；需要驱动双支吸笔的多工位配置。
如果工位仅涉及微小芯片和薄片元件的拾取，FV-10-240的-14kPa可调负压、600g轻量机身和5W低功耗是更经济的选择；如果工位需要处理4英寸以上晶圆，或对洁净度有更高要求，FV-30-240的-50kPa负压和双向HEPA过滤更为稳妥。
五、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| 品牌 | FLUORO福乐 |
| 型号 | FV-10-240 |
| 类型 | 无油隔膜真空泵（单级） |
| 额定电压 | AC220-240V 50/60Hz |
| 功耗 | 5.0W |
| 极限吸入压力 | -3～-14 kPa（无级可调） |
| 流量 | 2.8 L/min（50Hz） |
| 外形尺寸 | 155(W)×72(D)×61(H) mm |
| 重量 | 600 g |
| 耐久时间 | ≥9,000小时 |
| 使用极限温度 | 40℃ |
| 适配软管 | Φ3×5mm、Φ4×6mm |
| 排气过滤 | 毛毡过滤棉 |
| 适配环境 | Class100-1000无尘室，干式工况 |
| 产地 | 日本 |
六、适用行业与场景
半导体封装测试：探针台、划片工序中硅片、微小die晶粒的手动拾取转运
光电行业：Mini-LED、光学镜片、滤光片等微型元件的分拣搬运
科研实验室：显微镜下微小样品、薄片基板的无尘取放，精密抽滤
电子组装：SMD微小元器件、薄型工件的手工装配
化合物半导体：碳化硅、氮化镓等小尺寸晶粒的防静电取放
医疗/精密仪器：微型组件、薄片材料的无损转移
七、使用提示
仅限干式气体使用，不可抽吸水汽、酸碱液体
负压不要调至过大，防止薄器件发生变形破损
软管避免弯折堵塞，保持气路畅通
排气过滤棉定期检查更换，保障洁净输出
八、现货库存信息
FLUORO福乐 FV-10-240 真空泵目前原装现货在库，下单即可安排发货。我司同时供应FV系列全系型号（FV-10-240 / FV-30-240 / FV-60-240 / FV-XP）及配套耗材，包括852系列导电PVC真空软管、851-L抗静电螺旋软管、858静电消散接地装置、HEPA替换滤芯、毛毡过滤棉、C系列/F系列真空吸笔及各类替换吸嘴。可针对不同晶圆尺寸、工位布局和吸笔配置匹配完整的负压源方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。
