FLUORO福乐 C002-D-Y-161-98 真空吸笔半导体晶圆无尘拾取工具原装现货充足
更新时间：2026-10-16
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近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C002-D-Y-161-98 防静电真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中面向半导体晶圆及精密元件连续搬运的常开型规格，采用碳纤维增强导电尼龙笔身与导电PEEK吸嘴，配备Y型固定式接头与161mm加长杆，专为半导体无尘车间中晶圆、芯片、光学元件的快速取放作业开发。目前原装现货在库，含吸笔主机及98-CP吸嘴，下单即可安排发货。
一、四十余年晶圆拾取经验，半导体精密搬运的品牌
FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），总部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有超过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。
二、C002-D-Y-161-98：常开阀体 + Y型固定接头 + 161加长杆
C002-D-Y-161-98是FLUORO C系列导电型真空吸笔中面向连续搬运工况的常开型主力规格，适合晶圆流水线取放、封装转运、检测台上下料等需要快速吸附与释放的作业场景。
型号释义：
| 编码 | 含义 |
|---|---|
| C002 | C系列导电防静电款，NO常开阀体，接通真空即吸附，按下按钮释放 |
| D | 标准直型本体，大流量阀体设计，吸力大于C001基础款 |
| Y | Y型固定式接头，笔身与吸嘴直线刚性连接，管路气密性更优 |
| 161 | 161mm加长杆规格，可深入设备腔体内部取放 |
| 98 | 标配98-CP导电PEEK吸嘴，适配8英寸晶圆 |
三、核心技术解析：常开阀体 + 全域防静电 + 161mm加长杆
① NO常开阀体，接通真空即吸附。 C002-D-Y-161-98采用NO（Normally Open）常开型阀体。接通真空源后即保持吸附状态，将吸嘴轻触晶圆背面即可自动吸附；放下晶片时只需按住吸笔上端的按钮，即可切断真空释放工件。这一操作逻辑适合需要快速取放、连续搬运的半导体产线，长时间手持作业无需持续按压按键，有效降低操作人员手部疲劳。
② 全域防静电防护，保障晶圆良率。 笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA） 制成，吸嘴采用导电PEEK材质，两者构成完整的静电泄放通路。表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，有效消除静电积聚，降低因静电击穿导致的良率损失。整机无尖锐外露金属件，作业过程避免晶片镀膜刮伤，适配Class10-1000洁净室环境。
③ Y型固定式接头，管路气密性更优。 C002-D-Y-161-98采用Y型固定式接头，笔身与吸嘴直线刚性连接，无活动万向关节。与X型万向接头相比，Y型固定式接头无旋转间隙，负压损耗更小，管路直进直出，气密性更优，适合操作姿态相对固定的工位，以及需要垂直对位取放的大尺寸晶圆作业。
④ 161mm加长杆，深入腔体取放。 161mm加长杆设计使吸笔可深入设备腔体、载具、治具内部进行晶圆取放作业，无需拆解设备，特别适合机台内部、探针台等空间受限工位的精密搬运。加长设计在保持轻量化笔身的同时，确保操作人员无需将手伸入设备深处即可完成取放，有效降低污染风险。
⑤ 氟树脂密封阀芯，高频按压气密性不衰减。 内部阀芯采用氟树脂密封结构，阀体内壁经抛光处理，高频次反复按压依旧气密性稳定，不易漏气失效。密封件耐受弱酸弱碱与有机溶剂侵蚀，在洁净环境中长期连续使用不易老化。
⑥ 模块化可更换设计，降低运维成本。 吸嘴为独立消耗件，采用快拆结构，可快速更换94-CP、95-CP、96-CP、97-CP、98-CP、99-CP等全系列原厂导电PEEK吸嘴，一套吸笔适配2至12英寸全规格晶圆搬运，大幅降低企业耗材采购成本。
四、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| 品牌 | FLUORO福乐 |
| 型号 | C002-D-Y-161-98 |
| 系列 | C系列（导电型） |
| 阀体种类 | NO（常开型，接通真空即吸附，按键释放） |
| 接头类型 | Y型固定式接头 |
| 加长杆总长 | 161mm |
| 笔身材质 | 碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA） |
| 吸嘴材质 | 导电PEEK（聚醚醚酮），镜面抛光处理 |
| 阀芯材质 | 氟树脂密封结构 |
| 表面电阻率 | 10⁶～10⁸Ω |
| 适配气管 | Φ3×5 / Φ4×6 软管 |
| 适配工件 | 2～12英寸硅晶圆、碳化硅基板、光学玻璃基板 |
| 适配真空泵 | FV-10-240 / FV-30-240 / FV-60-240（需另购） |
| 使用环境 | Class10～1000洁净室，干式工况 |
| 产地 | 日本 |
五、C系列选型对比
| 型号 | 阀门逻辑 | 接头类型 | 核心差异 | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
| C001 | NC常闭型 | Y/X | 按住吸附，松开释放 | 短时间频繁取放 |
| C002 | NO常开型 | Y（固定） | 接通真空即吸附，按下按钮释放 | 连续搬运，快速取放，固定工位 |
| C003 | NO+SW | Y/X | 常开吸附+独立自锁开关 | 长时间持料转运、静置校准 |
C002-D-Y-161-98的NO常开逻辑在量产线上操作简洁高效，Y型固定式接头使其在固定工位垂直对位取放场景中气密性更优；X型万向接头版本则适合腔体内部多角度灵活取放。
六、配套真空泵方案
FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为C002-D-Y-161-98吸笔专用负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。
| 型号 | 最大负压 | 适配吸笔 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| FV-10-240 | -80kPa | C001/C002/C003/F002 | 小芯片、4～6寸晶圆 |
| FV-30-240 | -84kPa | C001/C002/C003/F002 | 4～8寸晶圆主流选型 |
| FV-60-240 | -88kPa | C001/C002/C003/F002 | 8～12寸大重量/翘曲晶圆 |
整机无油设计，杜绝油污污染晶圆，进气口和排气口均内置HEPA过滤器。
七、适用行业与场景
半导体制造：8英寸硅晶圆手动搬运、探针台测试上下料、划片、封装转运
半导体封装测试：芯片封装、探针台测试、射频陶瓷基板取放
化合物半导体：碳化硅、氮化镓晶片基板取放
光电行业：光学基板、滤光片、大尺寸光学元件搬运
Mini-LED/面板：面板、薄型陶瓷基板手动拾取
无尘实验室：机台腔体内部样品操作、薄片易碎样品手动转移
八、现货库存信息
FLUORO福乐 C002-D-Y-161-98 防静电真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机及98-CP吸嘴，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（94/95/96/97/98/99-CP系列）、替换金属杆、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。
