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【新品发布】Fluoro福乐 M100-100 4英寸窥视杠杆锁镊子,晶圆夹取入门之选

更新时间:2026-10-12

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近日,我司新推出了日本FLUORO福乐(フロロメカニック)M100-100 窥视杠杆锁镊子。该产品为M100系列中针对4英寸(100mm)半导体硅晶圆设计的基础款规格,采用PEEK一体成型材质与杠杆锁式夹持方案,仅夹持晶圆边缘安全区,面向晶圆厂、封装测试线及实验室的精细搬运与检测场景。目前原装现货在库,下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验,半导体精密搬运

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック(Fluoro Mechanic),总部位于东京都江户川区,自1983年开发真空镊子以来,专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售,拥有超过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称,广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。

二、M100-100:4英寸晶圆夹取入门之选

M100-100是FLUORO L系列手动镊子中面向4英寸晶圆的基础款规格,采用纯机械外缘夹持方式,无需真空泵、无需气管,PEEK一体成型,无金属铆钉、无胶水,半导体干式无尘室专用,仅夹持晶圆边缘,保护晶圆正反面功能面。

型号释义:

编码含义
M100基础款直压式晶圆夹,靠手捏压力夹持,无锁止机构
100适配4英寸(100mm)半导体硅晶圆

三、核心技术解析:PEEK一体成型 + 杠杆锁式夹持

① PEEK一体成型,无金属无胶水杜绝污染。 M100-100主体采用PEEK(聚醚醚酮) 材质一体成型,无金属铆钉、无粘接胶水,杜绝金属离子析出和有机物污染晶圆表面的风险。PEEK材质具有优异的耐化学性、耐热性和机械强度,连续使用温度可达130℃,可短时间拿取冷却后的高温晶圆。

② 两点外缘夹持,只碰边缘不碰功能面。 M100-100采用两点外缘夹持设计,仅接触晶圆侧边安全区域,不碰晶圆正反面。接触晶片边缘尺寸为上方5.4mm、下方9.5mm,端头带限位挡块,防止晶圆滑脱,接触面经光学抛光处理,减少崩边、划伤和微粒产生。

③ 杠杆锁式机构,夹持后自动锁定。 与传统镊子需要操作人员持续用力捏紧不同,M100-100采用杠杆锁式(Lever Lock)夹持方案。操作人员只需按压一次手柄,夹爪即可自动锁定在夹持位置,松开手指后晶圆依然被稳固夹持。再次按压即可释放,实现“一次按压、持续夹持、再次按压、轻松释放"的顺畅操作逻辑。杠杆锁型产品锁定时夹紧力恒定,操作稳定无个体差异,大幅降低长时间搬运晶圆时的指部疲劳,同时也避免了因手滑或力度不稳导致的晶圆跌落风险。

④ 轻量化设计,单手操作灵活。 整机长度146mm,重量仅30g,握持轻便,支持长时间单手操作,适配半导体产线高频取放作业需求。

⑤ 无需气源,机台应急取样便捷。 M100-100为纯机械工具,不需要真空泵、软管、吸嘴,机台应急取样、实验室快速拿取非常便捷,无需额外配置负压气源即可使用。

四、主要技术规格

参数项规格信息
品牌FLUORO福乐
型号M100-100
类型手动镊子(杠杆锁式)
适用晶圆尺寸4英寸(100mm)
主体材质PEEK(聚醚醚酮)
夹持方式两点外缘夹持,仅接触晶圆侧边
结构特点一体式成型,无金属件、无粘接胶水
接触边缘尺寸上方5.4mm,下方9.5mm
长度146mm
重量30g
耐温连续130℃
适配环境Class10-1000无尘室,仅限干式

五、L系列选型对比

型号材质适用晶圆尺寸长度重量核心差异
M100-100PEEK4英寸146mm30g基础款入门规格
M100-125PEEK5英寸148mm31g5英寸适配
M100-150PEEK6英寸147mm31g6英寸适配
M100-200PEEK8英寸147mm32g8英寸适配
E100-100导电PEEK4英寸146mm31g防静电款,电阻率10⁶-10⁸Ω

M100-100为PEEK绝缘款基础规格,适合对静电防护要求不高的常规取放场景;E100-100为导电PEEK防静电款,适合静电敏感晶圆的搬运。

六、适用行业与场景

  • 半导体制造:4英寸硅晶圆手动搬运、检测台取放、设备内腔拾取

  • 封装测试:4英寸晶圆、小尺寸基板的夹持搬运

  • 光学行业:光学镜片、滤光片的无损转移

  • 科研实验室:探针台样品拆解、薄片易碎样品的手动转移

  • 化合物半导体:碳化硅、氮化镓等4英寸及以下晶圆的精细夹持

七、现货库存信息

FLUORO福乐 M100-100 手动镊子目前原装现货在库,下单即可安排发货。我司同时供应同系列M100-125(5英寸)、M100-150(6英寸)、M100-200(8英寸)规格及E100-100防静电款,配套耗材包括替换夹爪、防静电接地线等。可针对不同晶圆尺寸和操作习惯匹配手动夹具与真空吸笔方案,并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价,欢迎随时联系我司销售团队。


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