【重磅上新】福乐FLUORO F001-D-X-101 真空吸笔，轻巧便携操作新体验

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）F001-D-X-101 耐化学腐蚀真空吸笔。该产品为F系列湿法工艺专用型号，采用PTFE氟树脂笔身与NC常闭点动阀体，搭配X型360°万向旋转接头，吸嘴采用导电PEEK材质，专为半导体湿法清洗、酸碱蚀刻、光刻剥膜等强化学药液环境下的晶圆与基板拾取转运开发。目前原装现货在库，含吸笔主机，配套吸嘴可按需选配，下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验，湿法工艺专用吸笔

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），总部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发与制造，拥有超过50年的精密工具制造经验。F系列是FLUORO针对湿法工艺开发的耐化学腐蚀产品线，笔身主体采用PTFE氟树脂，可直接接触酸碱药液，在半导体清洗、刻蚀等湿法工序中积累了广泛的应用实绩。

二、F001-D-X-101：轻巧便携，湿法槽体内的灵活取放方案

F001-D-X-101是FLUORO F系列耐化学腐蚀型真空吸笔中兼顾轻巧便携与湿法工况适配的主力规格，专为半导体湿法工艺中强酸碱、有机溶剂环境下的精密取放而开发。整支吸笔重量约24g，尺寸仅21×148L mm（不含吸引轴、吸着片），单手即可灵活操作，长时间手持作业不易疲劳。

型号释义：

三、核心技术解析：轻巧便携 + 耐化学腐蚀 + NC点动阀

① 轻巧便携设计，单手操作灵活。 F001-D-X-101整支吸笔重量仅约24g，尺寸紧凑，握持轻便。在湿法清洗槽、蚀刻槽等空间受限的工位，操作人员可单手完成吸附、移动、释放全流程，另一只手可同时进行其他辅助操作。配合X型万向旋转接头，吸引轴可360°自由旋转，不受真空软管拉扯束缚，各方向的吸附物均可自在对应，倾斜工位也可以垂直贴合晶圆表面，降低碎片风险。

② PTFE氟树脂笔身，耐强酸强碱与有机溶剂。 笔身主体采用PTFE（4F-特氟龙）氟树脂材质，整机药液接触部位无金属件，可直接接触强酸、强碱、蚀刻液、剥离液及有机溶剂。与C系列导电尼龙材质遇强酸易腐蚀、析出金属离子污染晶圆的痛点不同，F系列的PTFE笔身化学惰性优异，在湿法腐蚀、酸洗、蚀刻、剥离等强化学药液工位中不易老化变形，也不会向药液中释放金属离子或颗粒污染。

③ NC常闭点动阀体，按住吸附、松开释放。 F001-D-X-101采用NC（Normally Closed）常闭型阀体。操作逻辑为：按住笔身上的按钮产生负压吸附工件，松开按键即刻切断真空完成释放，单手即可完成全部拾取动作。这一设计尤其适合湿法槽体内短时间频繁取放晶圆、基板的作业节奏，操作响应迅速，避免因阀门延迟导致的工件掉落风险。阀芯内部采用氟树脂密封，负压损耗小，吸力输出稳定，薄晶圆拾取不易掉片。

④ PEEK吸嘴，镜面精加工不划伤，吸嘴采用耐化学品、耐热、强韧的PEEK树脂素材，经机械加工后进行热处理和镜面加工，长期使用仍能维持稳定性能。接触面光滑无孔隙，拾取晶圆时不会划伤抛光面、光刻胶或镀膜层。吸嘴为独立消耗件，磨损后单独更换即可，无需更换整支吸笔，有效降低长期使用成本。

⑤ 模块化可更换设计，适配多种工件尺寸。 笔身阀体、吸引轴、吸嘴三者独立拆分，。可快速更换不同规格吸嘴，覆盖从薄片、小尺寸基板到6英寸晶圆的取放需求，一套吸笔适配多道湿法工序。

四、主要技术规格

五、F系列选型对比

F001的NC常闭逻辑适合需要精准控制吸附时机的场景，吸附与释放由操作人员主动控制；F002的NO常开逻辑在湿法产线连续取放作业中操作更简洁高效。

六、配套真空泵方案

FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为F001-D-X-101吸笔专用负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。

整机无油设计，杜绝油污污染晶圆，进气口和排气口均内置HEPA过滤器。

七、适用行业与场景

• 半导体湿法清洗：清洗槽、蚀刻槽、显影槽内带药液硅晶圆的取放转运

• 酸碱蚀刻工艺：刻蚀后带药液晶圆、碳化硅基板、化合物半导体晶圆的搬运

• 光刻剥膜工序：剥离液环境中晶圆的拾取与转移

• 湿法设备周边：清洗机、蚀刻机、显影机等设备内腔晶圆拾取

• 光学玻璃基板：光学基板、滤光片在药液环境下的无损搬运

• 科研实验室：化学处理后样品、薄片基板在酸碱环境中的精密转移

八、现货库存信息

FLUORO福乐 F001-D-X-101 耐化学腐蚀真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机，配套吸嘴可按需选配，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换PEEK吸嘴、替换吸引轴、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、湿法工艺环境和操作习惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。