更新时间:2026-10-12
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近日,我司新推出了日本FLUORO福乐(フロロメカニック)M100-125 窥视杠杆锁镊子。该产品为M100系列中针对5英寸(125mm)半导体硅晶圆设计的规格,采用PEEK一体成型材质与杠杆锁式夹持方案,仅夹持晶圆边缘安全区,面向晶圆厂、封装测试线及实验室的精细搬运与检测场景。目前原装现货在库,下单即可安排发货。
一、四十余年晶圆拾取经验,半导体精密搬运
FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック(Fluoro Mechanic),总部位于东京都江户川区,自1983年开发真空镊子以来,专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售,拥有超过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称,广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。
二、M100-125:5英寸晶圆夹取的专业规格
M100-125是FLUORO L系列手动镊子中面向5英寸晶圆的标准规格,采用纯机械外缘夹持方式,无需真空泵、无需气管,PEEK一体成型,无金属铆钉、无胶水,半导体干式无尘室专用,仅夹持晶圆边缘,保护晶圆正反面功能面。
型号释义:
| 编码 | 含义 |
|---|---|
| M100 | 基础款杠杆锁式晶圆夹,PEEK材质,适配常规硅片与基板 |
| 125 | 适配5英寸(125mm)半导体硅晶圆 |
三、核心技术解析:PEEK一体成型 + 杠杆锁式夹持
① PEEK一体成型,无金属无胶水杜绝污染。 M100-125主体采用PEEK(聚醚醚酮) 材质一体成型,无金属铆钉、无粘接胶水,杜绝金属离子析出和有机物污染晶圆表面的风险。PEEK材质具有优异的耐化学性、耐热性和机械强度,连续使用温度可达130℃,可短时间拿取冷却后的高温晶圆。
② 两点外缘夹持,只碰边缘不碰功能面。 M100-125采用两点外缘夹持设计,仅接触晶圆侧边安全区域,不碰晶圆正反面。接触晶片边缘尺寸为上方32mm、下方5mm,端头带限位挡块,防止晶圆滑脱,接触面经光学抛光处理,减少崩边、划伤和微粒产生。
③ 杠杆锁式机构,夹持后自动锁定。 与传统镊子需要操作人员持续用力捏紧不同,M100-125采用杠杆锁式(Lever Lock)夹持方案。操作人员只需按压一次手柄,夹爪即可自动锁定在夹持位置,松开手指后晶圆依然被稳固夹持。再次按压即可释放,实现“一次按压、持续夹持、再次按压、轻松释放"的顺畅操作逻辑。杠杆锁型产品锁定时夹紧力恒定,操作稳定无个体差异,大幅降低长时间搬运晶圆时的指部疲劳。
④ 轻量化设计,单手操作灵活。 整机长度148mm,重量仅31g,握持轻便,支持长时间单手操作,适配半导体产线高频取放作业需求。
⑤ 无需气源,机台应急取样便捷。 M100-125为纯机械工具,不需要真空泵、软管、吸嘴,机台应急取样、实验室快速拿取非常便捷,无需额外配置负压气源即可使用。
四、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| 品牌 | FLUORO福乐 |
| 型号 | M100-125 |
| 类型 | 手动镊子(杠杆锁式) |
| 适用晶圆尺寸 | 5英寸(125mm) |
| 主体材质 | PEEK(聚醚醚酮) |
| 夹持方式 | 两点外缘夹持,仅接触晶圆侧边 |
| 结构特点 | 一体式成型,无金属件、无粘接胶水 |
| 尺寸(W×L) | 32×148mm |
| 接触边缘 | L1(晶圆外围)32mm,L2 5mm |
| 重量 | 31g |
| 耐温 | 连续130℃ |
| 适配环境 | Class100-1000无尘室,仅限干式 |
五、L系列选型对比
| 型号 | 材质 | 适用晶圆 | 尺寸(mm) | 重量 | 核心差异 |
|---|---|---|---|---|---|
| M100-100 | PEEK | 4英寸 | 16×146 | 30g | 4英寸入门规格 |
| M100-125 | PEEK | 5英寸 | 32×148 | 31g | 5英寸标准规格 |
| M100-150 | PEEK | 6英寸 | 37×147 | 31g | 6英寸适配 |
| M100-200 | PEEK | 8英寸 | 37×147 | 32g | 8英寸适配 |
| E100-125 | 导电PEEK | 5英寸 | 32×148 | 33g | 防静电款,电阻率10⁶-10⁸Ω |
M100-125为PEEK绝缘款标准规格,适合对静电防护要求不高的常规取放场景;E100-125为导电PEEK防静电款,适合静电敏感晶圆的搬运。
六、适用行业与场景
半导体制造:5英寸硅晶圆手动搬运、检测台取放、设备内腔拾取
封装测试:5英寸晶圆、小尺寸基板的夹持搬运
光学行业:光学镜片、滤光片的无损转移
科研实验室:探针台样品拆解、薄片易碎样品的手动转移
化合物半导体:碳化硅、氮化镓等5英寸及以下晶圆的精细夹持
七、现货库存信息
FLUORO福乐 M100-125 手动镊子目前原装现货在库,下单即可安排发货。我司同时供应同系列M100-100(4英寸)、M100-150(6英寸)、M100-200(8英寸)规格及E100-125防静电款,配套耗材包括替换夹爪、防静电接地线等。可针对不同晶圆尺寸和操作习惯匹配手动夹具与真空吸笔方案,并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价,欢迎随时联系我司销售团队。