玉崎现货库存 EBARA 荏原 EV-PA500 产品介绍
更新时间：2026-09-11
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近期我司新推出升级了 EBARA 荏原 EV-PA500 风冷干式罗茨真空泵，玉崎原装全新现货库存，整机配套原厂标准配件，可快速安排交付。EV-PA500 属于 EV-PA 系列大抽速型号，采用多级非接触罗茨转子结构，泵腔无工作油，杜绝油雾返流污染真空腔体，是洁净真空场景大流量前级真空泵优选。
EV-PA500 整机采用强制风冷设计，无需外接冷却水，仅接入电源即可投入使用，消除漏水隐患。电源支持单相宽电压 100~230V，国内 220V 市电可直接适配。抽气速率可达 500 L/min，气镇开启时 430 L/min；关闭气镇极限真空 0.5Pa，开启气镇极限真空 2.0Pa；整机重量 21kg，外形尺寸 189×482×272mm，机身紧凑，运行噪音低至 58dB (A)，适配洁净室、实验室环境。设备标配内置气镇阀、进气过滤器，进气排气接口均为 NW25 快装接头，自带设备状态指示灯，支持远程启停、故障报警信号输出，RS485 通讯模块为可选配件，可对接上位机实现自动化监控。转子无接触摩擦，无密封易耗件，大幅降低日常维护工作量，整机符合 SEMI-S2、CE、NRTL 相关安全规范。
玉崎仓库现货机型均为原厂全新未拆封设备，出货附带出厂检测报告、原厂说明书，提供原厂质保，可提供到货验收与技术支持服务；同系列 EV-PA250 小抽速型号也可同步调货。该款真空泵多用于半导体 Load-lock 腔体、检漏仪、质谱仪、扫描电镜、小型真空镀膜设备、实验室真空脱泡等洁净真空工况。
EBARA 荏原 EV-PA500 技术参数表（玉崎现货机型）
表格
| 项目 | 参数值 |
|---|---|
| 产品型号 | EV-PA500 |
| 泵类型 | 多级非接触罗茨干式无油真空泵 |
| 抽气速率 | 500 L/min（气镇关闭）；430 L/min（气镇开启） |
| 极限真空度 | 0.5 Pa（气镇 OFF）；2.0 Pa（气镇 ON） |
| 最大水蒸气处理量 | 约 250 g/h（气镇开启工况） |
| 进气接口 | NW25 KF 快装接头 |
| 排气接口 | NW25 KF 快装接头 |
| 冷却方式 | 强制风冷，无需外接冷却水 |
| 供电规格 | 单相 AC100~230V，50/60Hz，电压波动允许 ±10% |
| 电源容量 | 0.66 kVA |
| 运行功耗 | 极限真空工况 0.27 kW；峰值功耗 0.60 kW |
| 运行噪音 | 58 dB (A)（距离设备 1 米位置） |
| 外形尺寸（宽 × 深 × 高） | 189 × 482 × 272 mm |
| 整机重量 | 21 kg |
| 腔体材质 | 铝合金腔体 + 特殊防护涂层，可耐受轻微粉尘与弱腐蚀气体 |
| 工作环境温度 | 5℃～30℃ |
| 标配功能 | 内置气镇阀、进气过滤器、设备状态指示灯、远程启停 / 故障报警信号输出 |
| 可选配件 | RS485 通讯模块 |
| 安全标准 | SEMI-S2、CE、NRTL |
简要备注
气镇阀功能：用于抽取带水汽、可凝性气体，防止水汽在泵腔内部凝结。
信号接口：标配 D-sub15 控制接口，可接入设备主机实现联动控制。
玉崎现货为日本荏原原装全新机型，出厂附带原厂检测报告。
