更新时间:2026-09-11
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近期我司新推出升级了 EBARA 荏原 EV-PA250 风冷干式罗茨真空泵,玉崎常备原装全新现货库存,整机配套原厂标准配件,可快速安排交付。EV-PA250 属于 EV-PA 系列小型无油干泵,采用多级非接触罗茨转子结构,泵腔无工作油,杜绝油雾返流污染真空腔体,是洁净真空场景优选的前级真空泵。
EV-PA250 整机采用强制风冷设计,无需外接冷却水,仅接入电源即可投入使用,消除漏水隐患。电源支持单相宽电压 100~230V,国内 220V 市电可直接适配。抽气速率可达 230L/min,关闭气镇极限真空 0.5Pa,开启气镇极限真空 2.0Pa;整机重量仅 16kg,机身自带便携提手,外形尺寸 189×412×272mm,体积小巧摆放灵活,运行噪音低至 55dB (A),适配洁净室、实验室环境。设备标配内置气镇阀、进气过滤器,进气排气接口均为 NW25 快装接头,自带设备状态指示灯,支持远程启停、故障报警信号输出,RS485 通讯模块为可选配件,可对接上位机实现自动化监控。转子无接触摩擦,无密封易耗件,大幅降低日常维护工作量,整机符合 SEMI-S2、CE、NRTL 相关安全规范。
玉崎仓库现货机型均为原厂全新未拆封设备,出货附带出厂检测报告、原厂说明书,提供原厂质保,可提供到货验收与技术支持服务;同系列 EV-PA500 大抽速型号也可同步调货。该款真空泵多用于半导体 Load-lock 腔体、检漏仪、质谱仪、扫描电镜、小型真空镀膜设备、实验室真空脱泡等洁净真空工况。
表格
| 项目 | 参数值 |
|---|---|
| 产品型号 | EV-PA250 |
| 泵类型 | 多级非接触罗茨干式无油真空泵 |
| 抽气速率 | 230 L/min(气镇关闭);200 L/min(气镇开启) |
| 极限真空度 | 0.5 Pa(气镇 OFF);2.0 Pa(气镇 ON) |
| 最大水蒸气处理量 | 约 120 g/h(气镇开启工况) |
| 进气接口 | NW25 KF 快装接头 |
| 排气接口 | NW25 KF 快装接头 |
| 冷却方式 | 强制风冷,无需外接冷却水 |
| 供电规格 | 单相 AC100~230V,50/60Hz,电压波动允许 ±10% |
| 电源容量 | 0.45 kVA |
| 运行功耗 | 极限真空工况 0.24 kW;峰值功耗 0.38 kW |
| 运行噪音 | 55 dB (A)(距离设备 1 米位置) |
| 外形尺寸(宽 × 深 × 高) | 189 × 412 × 272 mm |
| 整机重量 | 16 kg(自带便携提手) |
| 腔体材质 | 铝合金腔体 + 特殊防护涂层,可耐受轻微粉尘与弱腐蚀气体 |
| 工作环境温度 | 5℃~30℃ |
| 标配功能 | 内置气镇阀、进气过滤器、设备状态指示灯、远程启停 / 故障报警信号输出 |
| 可选配件 | RS485 通讯模块 |
| 安全标准 | SEMI-S2、CE、NRTL |
气镇阀功能:用于抽取带水汽、可凝性气体,防止水汽在泵腔内部凝结。
信号接口:标配 D-sub15 控制接口,可接入设备主机实现联动控制。
玉崎现货为日本荏原原装全新机型,出厂附带原厂检测报告。