玉崎现货库存 EBARA 荏原 EV-A10-2S 产品介绍
更新时间：2026-09-11
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近期我司新推出升级了 EBARA 荏原 EV-A10-2S 风冷多级罗茨干式真空泵，玉崎原装全新现货库存，整机配套原厂标准配件。EV-A10-2S 属于 EV-A 系列单相供电大抽速干泵，采用五级非接触罗茨转子结构，泵腔内部无润滑油，泵腔与齿轮润滑腔相互隔离，杜绝油雾返流污染真空腔体，是洁净真空大流量预抽场景优选设备。
EV-A10-2S 整机采用强制风冷结构，无需外接冷却水，仅接入电源即可投入使用，消除管路漏水隐患。供电规格为单相 AC200~240V，电压允许波动 ±10%，国内车间市电可直接使用。最大抽速可达 1000 L/min，大气压区间抽速 800 L/min；关闭气镇极限真空 1.0Pa，开启气镇极限真空 2.0Pa，最大水蒸气处理量 500g/h；整机重量 75kg，外形尺寸 317×544×344mm，标配可锁脚轮与调平底座，现场移位与固定便捷，运行噪音≤58dB (A)，适配洁净车间、实验室环境。设备标配内置可开关气镇阀、进气过滤器，进气排气接口均为 NW40 快装法兰，自带设备控制面板，支持远程启停、过热过载保护、故障报警信号输出，RS485 通讯模块为可选配件，可对接上位机、PLC 实现自动化监控。转子采用非接触式设计，几乎无磨损，仅进气过滤器为常规消耗件，大幅降低长期维护成本，整机符合 SEMI-S2、CE、NRTL 相关安全规范。
玉崎仓库现货机型均为原厂全新未拆封设备，出货附带出厂检测报告、原厂说明书，提供原厂质保，可提供到货验收与技术支持服务；同系列三相版本 EV-A10-3S、EV-PA250/EV-PA500 小抽速型号也可同步调货。该款真空泵多用于半导体 Load-lock 腔体预抽、等离子清洗、小型 PVD 镀膜、氦检检漏设备、分析仪器、电池干燥脱泡等洁净真空工况。
EBARA 荏原 EV-A10-2S 技术参数表（玉崎现货机型）
表格
| 项目 | 参数值 |
|---|---|
| 产品型号 | EV-A10-2S |
| 泵类型 | 五级非接触罗茨干式无油真空泵 |
| 最大抽气速率 | 1000 L/min；大气压抽速 800 L/min |
| 极限真空度 | 1.0 Pa（气镇 OFF）；2.0 Pa（气镇 ON） |
| 最大水蒸气处理量 | 500 g/h（气镇开启工况） |
| 进气接口 | NW40 KF 快装法兰 |
| 排气接口 | NW40 KF 快装法兰 |
| 冷却方式 | 强制风冷，无需外接冷却水 |
| 供电规格 | 单相 AC200~240V，50/60Hz，电压波动 ±10% |
| 电源容量 | 3.0 kVA |
| 极限真空运行功率 | 1.1 kW |
| 运行噪音 | ≤58 dB (A)（距离设备 1 米位置） |
| 外形尺寸（宽 × 深 × 高） | 317 × 544 × 344 mm |
| 整机重量 | 75 kg |
| 标配 | 可锁脚轮 + 调平底座、内置气镇阀、进气过滤器、I/O 远程信号接口 |
| 可选配件 | RS485 通讯模块 |
| 安全标准 | SEMI-S2、CE、NRTL |
简要备注
气镇阀功能：抽取含水汽、可凝性气体，防止水汽在泵腔内部凝结堆积。
型号释义：EV-A10 为系列本体，2S 代表单相供电版本，另有三相供电型号 EV-A10-3S。
玉崎现货为日本荏原原装全新机型，出厂附带原厂检测报告。
