更新时间:2026-09-10
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近期我司新推出升级了日本 FLUORO 福乐 C001-D-X-106,属于 C 系列防静电真空吸笔,C001 为 NC 常闭阀型号,X 代表 360° 万向旋转接头,106 配套适配 6 寸晶圆加长金属导管,半导体无尘车间用于 6 英寸硅晶圆、静电敏感元器件无损拾取搬运Fluoro Mec...。
ESD 防静电防护笔身为碳纤维导电尼龙材质,吸嘴采用导电 PEEK 材料;表面电阻率 10⁶~10⁸Ω,快速导出静电,保护晶圆、芯片、光学元件免受静电击穿损伤。
NC 常闭阀操作逻辑(与 C002 最大区别)按下按键产生真空吸附,松开按键释放工件。C002 是松键吸附,C001 操作逻辑相反;阀芯内置氟树脂密封件,气密性稳定,适合长时间无尘作业。
X 万向旋转接头 + 106 加长金属导管万向接头可 360° 自由旋转,腔体、载具狭小空间灵活操作;106 导管专为 6 英寸晶圆拾取设计,可搭配多款 6 寸专用晶圆吸嘴。
低发尘洁净设计,内壁镜面抛光,不易附着粉尘颗粒,满足 Class100~1000 洁净车间使用;吸嘴接触面柔和,不会划伤晶圆镀膜、光刻胶层。
模块化可拆卸结构,笔身、导管、吸嘴可拆分,吸嘴属于消耗件,可单独更换;笔身轻量化,长时间手持作业不易疲劳。
⚠️备注:必须外接 FV 系列无油真空泵(FV-10/FV-30/FV-60 等,单独选购),负压 0~-80kPa 可调。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | C001-D-X-106 |
| 系列 | C 系列防静电真空吸笔 |
| 本体材质 | 碳纤维导电尼龙 |
| 吸嘴材质 | 导电 PEEK |
| 静电性能 | 表面电阻 10⁶~10⁸Ω |
| 阀门类型 | NC 常闭阀(按键吸附,松键释放) |
| 导管规格 | 106 加长金属导管,适配 6 寸晶圆 |
| 接头类型 | X 型 360° 万向旋转接头 |
| 适用洁净等级 | Class100~1000 洁净室 |
| 配套设备 | FV 系列真空泵(另购) |
半导体 6 寸硅晶圆转移、划片、研磨、探针台测试;芯片封装、光学镜片、LED 元件等静电敏感精密零件无尘车间取放作业。
真空吸笔笔身、106 金属导管;可选配件:各类晶圆吸嘴、真空软管、FV 真空泵、固定支架。