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FLUORO 福乐 C002-D-X-103 防静电真空吸笔现货

更新时间:2026-09-09

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近期我司新推出升级了日本 FLUORO 福乐 C002-D-X-103,属于 C 系列防静电真空吸笔,X 代表 360° 万向旋转接头,103 为适配 8 英寸晶圆的加长金属导管,用于 8 寸硅晶圆、半导体精密元器件无尘无损拾取搬运。

产品特点

  1. ESD 防静电防护笔身为碳纤维导电尼龙材质,吸嘴采用导电 PEEK 材料;表面电阻率 10⁶~10⁸Ω,快速释放静电,保护晶圆、芯片、光学元件免受静电损伤。

  2. NO 常开阀操作逻辑:松开按键形成真空吸附,按下按键释放工件;阀芯使用氟树脂密封件,气密性优异,反复按压不易漏气。

  3. X 万向旋转接头 + 103 加长金属导管万向接头可 360° 自由旋转,腔体、载具内狭小空间操作灵活;103 导管专为 8 英寸晶圆拾取设计,可搭配多款 8 寸专用晶圆吸嘴。

  4. 低发尘洁净设计,内壁镜面抛光,不易附着粉尘颗粒,满足 Class100~1000 洁净车间使用;吸嘴接触柔和,不会划伤晶圆镀膜、光刻胶层。

  5. 模块化可拆卸结构,笔身、导管、吸嘴可拆分,吸嘴为消耗件,可单独更换;笔身轻量化,长时间手持作业不易疲劳。

⚠️备注:必须外接 FV 系列无油真空泵(FV-10/FV-30/FV-60 等,单独选购),负压 0~-80kPa 可调。

核心技术参数

表格

项目参数
型号C002-D-X-103
系列C 系列防静电真空吸笔
本体材质碳纤维导电尼龙
吸嘴材质导电 PEEK
静电性能表面电阻 10⁶~10⁸Ω
阀门类型NO 常开阀(松键吸附,按键释放)
导管规格103 加长金属导管,适配 8 寸晶圆
接头类型X 型 360° 万向旋转接头
适用洁净等级Class100~1000 洁净室
配套设备FV 系列真空泵(另购)

适用范围

半导体 8 寸硅晶圆转移、划片、研磨、探针台测试;芯片封装、光学镜片、LED 元件等静电敏感精密零件无尘车间取放作业。

标准配件

真空吸笔笔身、103 金属导管;可选配件:各类晶圆吸嘴、真空软管、FV 真空泵、固定支架。


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