更新时间:2026-09-09
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近期我司新推出升级了日本 FLUORO 福乐 C002-D-X-106,属于 C 系列防静电真空吸笔,X 代表 360° 万向旋转接头,106 代表配套 106 规格加长金属导管,专门用于 6 寸硅晶圆、半导体精密元器件的无尘无损拾取搬运。
防静电 ESD 防护设计笔身为碳纤维导电尼龙材质,吸嘴采用导电 PEEK 材料;表面电阻率 10⁶~10⁸Ω,可快速导出静电,保护晶圆、芯片、光学元件不被静电损伤。
NO 常开阀操作逻辑:松开按键产生真空吸附,按下按键释放工件;内置氟树脂密封阀芯,气密性稳定,适合长时间连续无尘作业。
106 加长金属导管 + X 万向旋转接头万向接头可以 360° 自由调节拾取角度,适配腔体、载具内狭小空间;106 导管适配 6 英寸晶圆拾取,可搭配多款不同规格的晶圆吸嘴。
洁净低发尘,内壁抛光处理,不容易附着粉尘颗粒,满足 Class100~1000 洁净车间使用,吸嘴接触柔和,不会划伤晶圆镀膜、光刻胶层。
模块化结构,笔身、导管、吸嘴可拆分,吸嘴属于消耗件,可单独更换,无需整体更换笔体;整机轻量化,单手长时间操作不易疲劳。
⚠️使用条件:需要外接 FV 系列无油真空泵(FV-10/FV-30/FV-60 等,单独选购),负压 0~-80kPa 可调。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | C002-D-X-106 |
| 系列 | C 系列防静电真空吸笔 |
| 本体材质 | 碳纤维导电尼龙 |
| 吸嘴材质 | 导电 PEEK |
| 静电性能 | 表面电阻 10⁶~10⁸Ω |
| 阀门类型 | NO 常开阀(松键吸附,按键释放) |
| 导管规格 | 106 加长金属导管,适配 6 寸晶圆 |
| 接头类型 | X 型 360° 万向旋转接头 |
| 适用洁净等级 | Class100~1000 洁净室 |
| 配套设备 | FV 系列真空泵(另购) |
半导体 6 寸硅晶圆的转移、划片、研磨、探针台测试;芯片封装、光学镜片、LED 元件等静电敏感精密零件在无尘车间的取放作业。
真空吸笔笔身、106 金属导管;可选配件:各类晶圆吸嘴、真空软管、FV 真空泵、固定支架。