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FLUORO 福乐 C002-D-X-106 防静电真空吸笔现货

更新时间:2026-09-09

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近期我司新推出升级了日本 FLUORO 福乐 C002-D-X-106,属于 C 系列防静电真空吸笔,X 代表 360° 万向旋转接头,106 代表配套 106 规格加长金属导管,专门用于 6 寸硅晶圆、半导体精密元器件的无尘无损拾取搬运。

产品特点

  1. 防静电 ESD 防护设计笔身为碳纤维导电尼龙材质,吸嘴采用导电 PEEK 材料;表面电阻率 10⁶~10⁸Ω,可快速导出静电,保护晶圆、芯片、光学元件不被静电损伤。

  2. NO 常开阀操作逻辑:松开按键产生真空吸附,按下按键释放工件;内置氟树脂密封阀芯,气密性稳定,适合长时间连续无尘作业。

  3. 106 加长金属导管 + X 万向旋转接头万向接头可以 360° 自由调节拾取角度,适配腔体、载具内狭小空间;106 导管适配 6 英寸晶圆拾取,可搭配多款不同规格的晶圆吸嘴。

  4. 洁净低发尘,内壁抛光处理,不容易附着粉尘颗粒,满足 Class100~1000 洁净车间使用,吸嘴接触柔和,不会划伤晶圆镀膜、光刻胶层。

  5. 模块化结构,笔身、导管、吸嘴可拆分,吸嘴属于消耗件,可单独更换,无需整体更换笔体;整机轻量化,单手长时间操作不易疲劳。

⚠️使用条件:需要外接 FV 系列无油真空泵(FV-10/FV-30/FV-60 等,单独选购),负压 0~-80kPa 可调。

核心技术参数

表格

项目参数
型号C002-D-X-106
系列C 系列防静电真空吸笔
本体材质碳纤维导电尼龙
吸嘴材质导电 PEEK
静电性能表面电阻 10⁶~10⁸Ω
阀门类型NO 常开阀(松键吸附,按键释放)
导管规格106 加长金属导管,适配 6 寸晶圆
接头类型X 型 360° 万向旋转接头
适用洁净等级Class100~1000 洁净室
配套设备FV 系列真空泵(另购)

适用范围

半导体 6 寸硅晶圆的转移、划片、研磨、探针台测试;芯片封装、光学镜片、LED 元件等静电敏感精密零件在无尘车间的取放作业。

标准配件

真空吸笔笔身、106 金属导管;可选配件:各类晶圆吸嘴、真空软管、FV 真空泵、固定支架。


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