更新时间:2026-09-09
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近期我司新推出升级了日本 FLUORO 福乐 F002-D-X-100,属于F 系列 PTFE 耐酸碱湿法真空吸笔,F 系列和 C 系列最大区别:F 系列笔身为 PTFE 特氟龙材质,强耐化学腐蚀,适配半导体湿法药液槽环境;C 系列为防静电碳纤维尼龙,用于干态无尘作业。F002 为 NO 常开阀,X 代表 360° 万向旋转接头,100 配套标准金属导管。
全氟树脂 PTFE 耐腐蚀机身阀体、管路接触药液部位一体 PTFE 成型,耐、各类酸碱蚀刻药液,适合晶圆湿法清洗、药液槽内取片作业,普通 C 系列吸笔不能浸泡 / 接触化学药液。
NO 常开阀操作方式:松开按键产生真空吸附,按下按键断气释放工件,阀芯氟树脂密封,长期接触化学试剂依旧保持良好气密性。
X 万向旋转接头 + 100 规格导管360° 自由旋转,在药液槽狭小空间灵活调整拾取角度;100 导管适配对应尺寸晶圆拾取,可搭配多种规格耐化学吸嘴。
低发尘洁净结构,满足 Class100~1000 洁净室;吸嘴可选导电 PEEK/PCTFE 材质,镜面抛光,取片不会划伤晶圆表面镀膜。
模块化可拆卸,笔身、导管、吸嘴可拆分;吸嘴属于消耗件,可单独更换;整机重量约 35g,长时间手持操作不易疲劳。
⚠️备注:需要外接 FV 系列无油真空泵(FV-10/FV-30/FV-60 等单独选购),负压 0~-80kPa 可调。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | F002-D-X-100 |
| 系列 | F 系列耐化学腐蚀真空吸笔 |
| 本体材质 | PTFE 特氟龙(氟树脂) |
| 吸嘴材质 | PEEK / PCTFE 可选 |
| 阀门类型 | NO 常开阀(松键吸附,按键释放) |
| 导管规格 | 100 标准金属导管 |
| 接头类型 | X 型 360° 万向旋转接头 |
| 适用场景 | 半导体湿法工艺、酸碱药液环境 |
| 适用洁净等级 | Class100~1000 洁净室 |
| 配套设备 | FV 系列真空泵(另购) |
半导体湿法清洗、蚀刻工艺槽内硅晶圆取放;酸碱药液环境下玻璃、石英、陶瓷片拾取;光伏、光学元件在化学处理工序的无损搬运,强腐蚀环境精密样品拾取。
真空吸笔笔身、100 金属导管;可选配件:耐化学吸嘴、真空软管、FV 真空泵、固定支架。