新品发布｜EBARA 荏原 EV‑PA500 紧凑型风冷干式真空泵

传统油封真空泵容易出现油雾返流污染腔体，部分干式真空泵又需要配套冷却水系统，现场布置繁琐，在实验室、中小型设备配套场景中一直存在诸多使用痛点。近期我司新推出升级了 EBARA 荏原 EV‑PA500 紧凑型风冷干式真空泵，目前现货库存可快速交付，单相宽电压供电，整机轻量化无油设计，适配洁净实验室与中小型工业真空工况，同时可提供完整技术售后支持，帮助客户规避油污染问题，降低设备基建与运维开销。

EV‑PA500 采用多级非接触罗茨转子结构，泵腔内部油运行，不会产生油蒸汽返流，保障腔体内部洁净，避免样品、工件被碳氢介质污染，满足对真空洁净度有要求的工艺条件。500L/min 大抽速输出，针对中等尺寸腔体、Load‑lock 锁腔反复破真空复抽工况做了性能优化，能够快速把腔体抽至目标负压，缩短整套工艺循环耗时，提升工位作业效率。

整机采用风冷散热方案，无需接入冷却水，单相 100‑240V 宽电压适配，50Hz、60Hz 电网环境下性能保持一致，国内外设备配套均可稳定使用。仅接通市电就可以投入运行，省去水冷管路、冷水机组的布设，消除漏水隐患，设备机柜、实验室工作台、移动工位都可以灵活摆放，部署门槛低。

设备配备可开闭气镇阀，可处理工艺产生的水汽以及少量可凝溶剂蒸汽，减少水汽、溶剂对泵体内部的侵蚀污染。搭载数字显示面板，运行状态直观查看，具备报警输出、远程 I/O 信号接口，支持对接 PLC 控制系统，实现设备联动启停，集成过热、过载多重保护，支持长时间不间断 24 小时连续运转。

转子非接触运转，无密封件频繁损耗问题，主要消耗配件仅为进气过滤器，长周期运行维护工作量少。整机重量轻、体积紧凑，方便移位转运，运行噪音控制良好，满足 SEMI‑S2、CE 相关规范，适配精密设备周边使用环境。到货后可提供技术售后，包含设备调试指导、故障排查、配件选型建议，降低客户上手使用难度。

广泛适配半导体中小型 Load‑lock 预抽、晶圆离线检测、小型 PVD 镀膜、等离子清洗；扫描电镜、质谱仪器前级真空、台式检漏设备；锂电试样真空烘烤、样品脱泡；生物医药洁净腔体、光学器件加工、通用工业真空吸附等场景，研发实验室小试以及工厂量产设备配套都可适用。