新品发布｜EBARA 荏原 EV‑PA250 紧凑型风冷干式真空泵

不少实验室与中小型设备配套场景下，传统油封真空泵普遍存在油雾返流污染腔体的问题，很多干式真空泵又需要搭配冷却水系统，现场管路布设复杂，给设备部署带来不少麻烦。近期我司新推出升级了 EBARA 荏原 EV‑PA250 紧凑型风冷干式真空泵，目前现货库存可快速交付，单相宽电压供电，整机轻量化无油设计，适配洁净实验室以及中小型工业真空工况，可提供完整技术售后支持，解决油污染困扰，减少设备基建与后期运维成本。

EV‑PA250 采用多级非接触罗茨转子结构，泵腔内部无油运行，杜绝油蒸汽返流现象，保障腔体内部洁净，避免工件、样品受到油污介质污染，满足对真空洁净度有要求的各类工艺。250L/min 抽速输出，针对小型腔体、Load‑lock 锁腔频繁破真空复抽工况做了专项优化，可以快速将腔体抽到目标负压，缩短工艺循环时长，提升工位整体作业效率。

整机采用风冷散热结构，无需接入冷却水，单相 100‑240V 宽电压兼容，50Hz、60Hz 不同电网条件下性能稳定，国内外设备配套均可正常使用。仅接通市电即可投入工作，省去水冷管路、冷水机组的安装布置，消除漏水风险，设备机柜、实验台面、移动工位都能够灵活安放，部署简单门槛低。

设备配置可开闭气镇阀，能够处理工艺产生的水汽以及少量可凝溶剂蒸汽，降低水汽、溶剂对泵体内部造成的腐蚀与污染。配备数字显示面板，运行状态一目了然，具备报警输出、远程 I/O 信号接口，支持对接 PLC 控制系统，实现设备联动启停，集成过热、过载多重保护，可满足 24 小时不间断连续运转需求。

转子采用非接触式运转，密封件损耗低，主要消耗配件仅为进气过滤器，长期运行维护工作量小。整机体积小巧、重量轻便，搬运移位方便，运行噪音表现优异，符合 SEMI‑S2、CE 相关规范，可在精密设备周边稳定使用。到货可提供技术售后，包含设备调试指导、故障排查、配件选型建议，降低客户设备上手难度。

适配半导体小型 Load‑lock 预抽、晶圆检测工位、小型 PVD 镀膜、等离子清洗；扫描电镜、质谱仪器前级真空、台式检漏设备；锂电样品真空烘烤、物料脱泡；生物医药洁净腔体、光学器件加工、通用工业真空吸附等场景，研发实验室试样和工厂量产配套都适用。