新品发布｜EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 单相风冷干式真空泵

传统油式真空泵运行过程容易出现油返流污染腔体，水冷干式真空泵需要配套水路系统，现场布置繁琐，后期维护开销居高不下，很多中小型真空腔体频繁破真空反复抽气的工况，一直面临设备选型难题。近期我司新推出升级了 EBARA 荏原 EV‑A10‑2S 五级罗茨干式真空泵，单相供电风冷结构，适配无尘车间、实验室多种洁净真空场景，优化抽气节拍，减少油污染带来的产品不良问题。

EV‑A10‑2S 采用五级非接触罗茨转子结构，泵腔与齿轮润滑腔体相互隔离，整机实现无油运行，杜绝油蒸汽返流现象，保障腔体内部洁净，避免工件、样品被油污污染。针对大气环境下抽气能力完成优化，大气段抽速表现优秀，非常适合腔体频繁破真空、反复抽放真空的作业模式，能够快速将腔体由大气压抽至目标负压，缩短整套工艺循环耗时。

整机采用风冷散热方案，无需接入冷却水，接通单相 200‑240V 电源即可投入使用，省去水冷管路、冷水机组的布设工作，无尘车间、实验室、设备机柜内部都可灵活安放，消除漏水隐患，降低现场基建改造成本。50Hz、60Hz 不同电网条件下，抽速与真空指标保持稳定，国内外设备配套都可以稳定运行。

设备搭载可开闭气镇阀，水汽处理能力出色，可应对工艺产生的水汽以及少量可凝溶剂蒸汽，降低可凝介质对泵体内部造成的污染。配置数字显示面板，运行状态直观可视，具备报警输出、远程 I/O 信号接口，能够对接 PLC 控制系统，完成设备联动启停。集成过热、过载多重保护机制，支持长时间不间断连续运转。

转子非接触式运转，磨损程度低，主要消耗配件仅为进气过滤器，长周期运行维护工作量少。整机配备带锁脚轮以及调平底座，移位就位便捷，运行噪音控制良好，能够适配对震动存在一定要求的精密工位，满足 SEMI‑S2、CE 相关规范。

可用于半导体 Load‑lock 锁腔预抽、小型 PVD 镀膜、等离子清洗，锂电极片真空烘烤、电芯脱气，科研中型真空腔体、扫描电镜、质谱前级真空，光电元件真空清洗、零部件检漏、真空脱泡等工况，研发小批量试样以及工厂量产设备配套都可适用