更新时间:2026-08-27
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8 英寸碳化硅、镀膜硅晶圆质地特殊,硬度高同时薄片易翘曲,普通吸嘴极易出现受力不均、局部压伤、静电损伤、吸附打滑脱落等问题。针对碳化硅晶圆与 8 英寸特种基板无尘搬运需求,近期我司新推出升级了 FLUORO 福乐 97‑CP 防静电真空吸嘴,现货库存可快速交付,降低碎片与表面损伤,提升产线作业良率。
97‑CP 采用 X‑Z 型四爪多点支撑吸附结构,多点位均匀贴合晶圆表面,压力分布均衡,适配普通硅片、翘曲薄片、镀膜晶圆以及碳化硅基板,减少晶圆形变、崩边、压痕划伤,对光刻胶、各类镀膜层形成有效防护。吸嘴本体选用高纯度导电 PEEK 材质,质地柔和,不会刮伤工件表面,具备稳定静电耗散性能,作业过程快速疏导静电,规避静电击穿电路、元器件损毁风险,适配百级千级高等级无尘防静电车间。
产品整体刚性优良,抗形变能力强,适配直线搬运工况,可匹配福乐 C 系列真空吸笔笔身使用。模块化分体结构,吸嘴能够单独拆装替换,无需整套更换吸笔,有效压缩产线运维成本。表面洁净处理,低发尘,支持洁净室常规清洗流程,反复使用吸附面保持平整,不易留存颗粒杂质污染晶圆表面。
适配 8 英寸硅晶圆、碳化硅 SiC 基板、玻璃基板、陶瓷晶片、大尺寸光学基板等工件取放,对接车间现有真空源就可以投入使用,调试简单上手快。
广泛应用在第三代半导体加工、半导体晶圆检测、芯片封装、镀膜工艺、失效分析实验室、来料分拣、光学器件加工等场景,兼顾研发小批量试样与工厂量产流水线作业,是 8 英寸碳化硅晶圆手动搬运可靠的配套耗材配件。