日本原装 EV‑X300N 干式真空泵现货库存直发

EBARA 荏原 EV‑X300N 半导体级无油干式真空泵全新入库，整机日本生产，手握现货库存，能够快速响应项目订单，有效规避进口设备长交期带来的项目延期风险，是中大型半导体制程、真空工艺优选的前级真空泵。

EV‑X300N 专为严苛洁净真空工况打造，采用全无油干式泵体设计，泵腔内部不使用任何润滑油，整机依靠风冷完成散热，不用铺设水冷管线与配套冷却设备，现场改造工作量小，设备摆放不受水路条件限制。从根源避免油雾反流污染腔体，保障真空环境洁净度，适配对杂质、油气残留零容忍的精密生产环节。

转子采用非接触高速运转结构，零部件之间无磨损接触，运行过程不会析出粉尘碎屑。和传统大流量油式泵对比，省去定期更换泵油、油雾过滤器等高频维护工作，大幅减少后期保养频次，降低运维成本。虽然抽速性能强劲，但是机身结构经过紧凑化优化，既可以落地机架独立使用，也能够集成配套到整套真空设备之中，安装适配场景广泛。

设备出厂完成减振降噪调校，整机运行振动低，运转噪音控制优秀，不会干扰周边精密检测器件、光学组件的正常工作。兼容 50Hz/60Hz 供电，国内工业现场可直接上电运行，无需额外配置变频装置。整机集成的电控保护逻辑，过载、超温等异常情况均可触发报警并输出故障信号，便于上位机联动监控，降低突发停机带来的生产损耗。针对含微量腐蚀性气体的工况，可加装氮气吹扫以及防腐配件，拓展设备工艺兼容性。

广泛用于半导体装载锁、PVD、CVD 镀膜设备、大型检漏机组、科研大型真空腔体、分析仪器等场景，可直接替代老式大抽速旋片泵、老旧干泵，改善真空洁净度，压缩设备全周期运行成本。

本次入库全部为日本原装全新整机，性能参数统一稳定，现货可支持样机验证、设备配套、批量项目采购，缩短客户等待周期。

1、日本原装整机进口，半导体级工艺适配2、现货库存直发，缩短进口设备交付周期3、全无油干式泵体，无油雾反流污染风险4、风冷无需水冷，现场安装改造简单便捷5、大抽速能力，适配中大型真空腔体工况6、多重电控保护，振动噪音低，维护负担小