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日本原装 EV‑SA50 干式真空泵全新到货|现货库存直发

更新时间:2026-08-05

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EV‑SA50 大流量无油干式真空泵现已到货,属于荏原 EV‑SA 系列中大抽速风冷干泵机型,整机日本出货,国内现货库存充足,可快速供货交付,解决真空项目进口设备交期漫长的痛点,为半导体工艺腔体、工业镀膜、大型科研真空系统提供高性能前级真空支持。
EV‑SA50 采用成熟无油干式压缩结构,泵腔内部全程不使用润滑油,无需配置水冷循环系统,依靠风冷散热即可实现 7×24 小时连续稳定运行。现场不用铺设水冷管路,设备摆放、集成布局自由度更高,从根源避免油雾返流、油水渗漏问题,输出高洁净真空,精密工艺对真空环境洁净度的严苛要求。
内部转子为非接触式运转结构,运转时部件无直接摩擦,不会产生粉尘碎屑污染真空腔体。对比传统大流量油旋片泵,无需频繁更换泵油、油雾过滤器,大幅减少日常维护频次与维护物料成本。机型在放大抽速能力的同时优化整机结构尺寸,兼顾大排气能力与设备集成条件,既可落地机架独立使用,也可内嵌集成于成套真空设备内部。
设备优化整机减震结构,实现低振动、低噪音运行,运转扰动小,不会对质谱仪器、电子显微镜、高精度光学检测设备造成不良影响。兼容 50Hz/60Hz 供电条件,国内工业电网直接适配,无需加装变频改造配件。搭载完备运行监控模块,具备过载保护、超高温预警、故障信号反馈功能,出现异常可及时输出告警,降低非计划停机带来的生产损失。处理带有轻微腐蚀性工艺气体时,可选配氮气吹扫、耐腐蚀套件,拓展工艺适配范围,适配多类工业工况。
适用场景包含半导体装载锁、PVD/CVD 镀膜设备、大型真空检漏系统、高能分析仪器、电子显微镜、工业真空脱气、中大尺寸科研真空腔体等,可直接替换老式大排量油旋片泵、老旧干式真空泵,提升真空品质的同时降低设备全生命周期使用成本。
本次到货均为全新日本原装整机,产品性能一致性高,现货库存可承接样机测试、设备配套、项目批量采购,有效压缩项目等待周期。

核心优势总结

1、日本原装整机进口,性能稳定品质可靠
2、现货库存直发,省去漫长海外订货周期
3、全无油干式构造,真空洁净杜绝油雾污染
4、风冷散热设计,无需水冷,安装布置灵活
5、大抽速大流量,适配中大负荷真空工艺
6、低震动低噪音,多重运行安全监测保护


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