EV‑SA30 大抽速紧凑型无油干式真空泵现已到货,荏原 EV‑SA 系列高性能风冷干泵,整机日本出货,国内现货库存充足,能够快速完成供货交付,有效化解进口设备订货周期长,项目进度被延误的难题,面向半导体、镀膜、大型实验室真空系统提供可靠前级真空解决方案。
EV‑SA30 采用无油干式压缩结构,泵腔内部不使用润滑油,无需外接水冷管路,依靠风冷散热就可以实现长时间连续运转。摆脱水冷配套管线、冷却水循环装置的限制,现场安装布局更加灵活,不存在油水渗漏、油雾返流污染腔体的风险,输出高洁净真空环境,满足精密工艺对于真空洁净度的硬性要求。
泵体内部转子采用非接触式运转设计,零部件之间无直接摩擦,运行过程不会产生粉尘碎屑。相较同级别油旋片泵,省去定期换油、更换油雾过滤器等繁琐维护作业,降低后期运维工作量。整机经过结构优化,在提升抽速的同时控制机身体积,兼顾大流量排气能力与设备集成需求,既可以机架独立摆放,也能够集成安装至成套真空设备内部。
设备运行实现低振动低噪音输出,运转震动幅度小,不会干扰质谱仪器、电子显微镜、光学检测设备等精密装置的正常工作。支持 50Hz 与 60Hz 工况兼容,国内工业电网可直接使用,不用额外配置变频配件。搭载的运行监控系统,具备过载保护、高温预警、故障状态反馈功能,设备异常时可及时输出信号,减少非计划停机带来的损失。面对含有轻微腐蚀性气体的工况,可选配氮气吹扫、耐腐蚀组件,拓宽设备工艺适配能力,符合工业设备相关使用标准。
广泛适配半导体装载锁腔体、PVD/CVD 镀膜设备、大型真空检漏机组、质谱分析设备、电子显微镜、工业真空脱气、科研大型真空腔体等场景,可替换大排量油式旋片泵、老旧涡旋干泵,在提升真空品质的同时,缩减全周期使用成本。
本次到货全部为全新日本原装整机,产品性能统一稳定,现货库存可支撑样机测试、设备配套以及批量项目采购,缩短项目等待周期。
核心优势总结
1、日本原装整机进口,性能稳定可靠
2、现货库存直发,规避漫长海外订货周期
3、全无油干式设计,真空洁净无油雾污染
4、风冷散热结构,无需水冷,安装简便灵活
5、大抽速输出,满足中大流量真空工艺需求
6、低震动低噪音,内置多重安全监测保护