日本原装 EV‑X200N 干式真空泵现货库存直发

EV‑X200N 面向中等负荷工艺环境研发，采用全无油干式螺杆结构，泵腔内部不添加润滑油，整机采用风冷散热方案，无需配置水冷机组与水路管线，大幅降低现场基建配套工作量，设备摆放安装不受场地条件约束。从根源规避油雾反流、介质渗漏带来的腔体污染，稳定输出高洁净真空环境，满足蚀刻、CVD 等工艺对真空洁净度的严苛标准。

转子采用精密非接触式运转设计，运转部件无直接摩擦接触，运行过程不会产生粉尘颗粒。对比传统大流量油旋片泵，免去定期更换泵油、滤芯等高频保养作业，有效降低后期维护工时与物料投入。设备采用紧凑型立式柜体设计，相比同级别设备占地面积更小，便于下层设备间布局，既可落地机架独立运行，也可集成装配于成套真空系统内部，现场适配能力强。

设备搭载宽域温控系统，可以抑制工艺副产物凝结堆积，拓展可处理工艺气体范围。整机经过减振降噪优化，运行振动幅度低，不会对周边精密器件造成干扰。支持 50Hz/60Hz 双电网兼容，国内工业供电环境可直接上电使用，无需额外加装变频部件。内置完整电控监测单元，具备过载保护、超温报警、故障信号输出功能，可对接上位机实现联动监控，减少突发停机带来的生产损失。标准配置耐腐蚀材质，面对微量腐蚀性工艺气体工况，还可增配氮气吹扫、强化防腐组件进一步提升耐受能力。

广泛适配半导体蚀刻、CVD 镀膜、灰化处理、离子注入、外延生长、大型真空检漏机组、科研真空腔体等应用，可直接替换老式油式真空泵与老旧干泵，提升真空品质，降低设备整体使用成本。

本次到货全部为日本原装全新整机，整机性能一致性优异，现货可承接样机验证、设备配套、批量项目采购，有效压缩客户项目等待周期。

1、日本原装整机进口，适配半导体中等负荷工艺2、现货库存直发，缩短进口设备交付周期3、全无油干式螺杆结构，杜绝油雾反流污染4、风冷散热设计，无需水冷，基建配套简单5、紧凑型柜体，宽域温控，耐受轻微腐蚀气体6、多重安全监测保护，振动噪音低，维护成本低