V‑TEX 真空阀核心优点

1.Rollcam 滚凸轮结构，低发尘低振动阀板关闭时垂直压紧密封面，密封圈无滑动摩擦，启闭冲击小，产生微粒少，避免污染晶圆、基板，适配半导体洁净工艺。

2.波纹管隔离驱动结构气缸驱动部件与真空腔体隔离，油脂、杂质不会进入真空腔内部，保障腔体洁净度，适合高真空、超高真空环境。

3.密封性能优异，漏率低氦漏率指标优秀，可稳定维持高真空，腔体保压效果好；可选用全氟醚密封件，适配腐蚀性工艺气体工况。

4.使用寿命长矩形门阀标准可达百万次启闭循环，摆阀系列 50 万次以上循环，适合设备高频连续启停，减少备件更换频次。

5.功能版本齐全，模块化选型支持逆压、阀体加热、位置反馈传感器；摆阀可实现二位通断、三位置节流、闭环压力调节，兼顾隔离、调压多种需求。大开口 Twin‑ROLLCAM 双凸轮型号，阀板受力均匀，不易偏斜卡滞，适配面板大基板传送。

6.工况适配能力强加热款阀体可升温，抑制工艺副产物冷凝附着；可应对刻蚀、CVD、蒸镀等各类工艺环境，支持双向压差负载锁使用场景。

7.信号反馈自带开、关到位检测信号，方便设备做联锁保护，防止误操作损伤晶圆工件。

8.安装兼容性好多方位可安装，适配集群式真空机台紧凑布局。