V‑TEX 矩形门阀（狭缝阀）应用场景

矩形门阀核心作用：作为晶圆 / 基板通行窗口，隔离不同真空腔室，实现工件跨腔传送，低发尘，防止工艺气体互串，保护腔体真空环境。

半导体设备（8 寸、12 寸晶圆设备主流）

1.Load‑lock 负载锁腔与传输腔之间，晶圆进出真空的隔离窗口，隔绝大气与真空腔体。2. 传输腔与各类工艺腔之间隔断：干法刻蚀、PVD 溅射、CVD、ALD、等离子去胶、离子注入设备，集群式机台各腔室之间物料传送通道，工艺腔体维护时关闭阀门，不破坏其他腔体真空。3. 晶圆 EFEM 大气模组对接 Load‑lock 腔，大气转真空的隔离门阀。

FPD 显示面板行业

Twin‑ROLLCAM 大开口型号，用于 LCD、OLED 面板基板传送；镀膜、刻蚀设备，大尺寸基板进出腔体，隔离工艺腔与传输腔，适配玻璃基板传送窗口。

真空镀膜行业

磁控溅射、电子束蒸发设备，多腔连续镀膜产线，基板在不同镀膜腔体之间传送隔断，防止腔室之间气体串扰。

光伏与科研设备

1. 光伏电池片真空工艺设备，硅片多腔传送隔离。2. 科研多腔集群真空系统、同步辐射设备，样品传送窗口，超高真空腔体之间隔离。

选型区分提示

• 普通 ROLLCAM：适配 8 寸、12 寸半导体硅片；‑ Twin‑ROLLCAM 双凸轮：大开口，适配面板大基板；‑ 带 R 逆压版本：负载锁腔，可承受外侧大气、内侧真空压差；‑ H 加热版本：工艺副产物容易冷凝，阀体加热，防止粉末粘附密封面。